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純化系統(tǒng)采用化學(xué)反應(yīng)與物理吸附相結(jié)合的方法在常溫下將工藝氣體中的H20,02,CO,CO2,NMHCH2等雜質(zhì)去除到1ppb以下，可配置過濾精度為0.003微米的顆粒過濾器。電控部分主要由PLC、溫度控制器和觸摸屏等所組成負(fù)責(zé)控制系統(tǒng)的純化、再生和安全報警等過程，確保純化系統(tǒng)能夠持續(xù)安全穩(wěn)定地運行。
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