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優(yōu)勢
? 準確度采用設定點精度，產(chǎn)品精度可達±1.0% S.P.，響應時間*快≤ 0.5sec。
? CS300系列產(chǎn)品可帶有壓力補償功能，對前段氣體壓力的擾動進行有效的補償，減少壓力變化對瞬時流量影響，從而保證產(chǎn)品工作的穩(wěn)定性和準確性。
? 采用的恒功率傳感器原理，在溫度變化時進行相應的補償，從根本上抑制了流量計的零漂現(xiàn)象，保證了傳感器線性。
? 高端產(chǎn)品采用專門的金屬表面處理技術，與氣體接觸的表面金屬材料全部使用316LVV，CS300C產(chǎn)品金屬表面粗糙度更可達5RA以下，嚴格按照SEMI標準生產(chǎn)制造。
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