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銅拋機
銅拋機

參考價格

面議

型號

銅拋機-DMP/CMP

品牌

凱碩恒盛

產地

北京

樣本

暫無
北京凱碩恒盛科技有限公司

高級會員

|

第1年

|

生產商

工商已核實

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核心參數(shù)
  • 粉碎程度:

    其他
  • 單位能耗:

    -
  • 產量:

    -
  • 裝機功率(kw):

    -
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    -
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1. 獨立四電機驅動     Independent 4 Drives

_ 為**方案提供更多選擇     Provides much option for the best recipe

_ 圖形易于修改         Easy to correct platen figure

2. 研磨盤冷卻系統(tǒng)    Plate Cooling Structure(CMP)

_ 該結構可以很大程度上降低機械拋光過程中溫度升高對砂輪平面度造成的影響

Maintain Plate flatness management against heat during mechanical polishing.

3. 低振動    Low vibration

_ 高剛性鑄鐵機身,減少加工震動        Provides stable run for thin applications

4. Hydrostatic base facing unit(DMP)

_ 平面度可達5um以內          Always guarantee the best flatness within 5um

_ 時間節(jié)約:尺寸自動補償系統(tǒng)        Time saving : Self re-conditioning when necessary

5. 壓力控制系統(tǒng)        Air Tube Type pressure control system

_ 加工超薄和易碎產品時可以提供更精確的壓力控制

Provides the suitable pressure control for thin & fragile applications

_ 出色的壓力控制系統(tǒng),可將加工壓力均勻分配至砂輪盤所有晶片

Excellent resolution of upper pressure Balanced pressure to all batched wafers

6. 采用德制傳輸系統(tǒng)       German made transmission applied

_ 設備耐用度有保證         Guaranteed machine durability

_ 低故障率 ,低輪齒間隙        Low trouble & Less back-lash




型號Model

ADDMP

ADCMP


1005

1308

1605

1005

1308

1605

銅盤Copper plate

尺寸Sizes

?700x?232

?1190x?650

?1140x?410

?700 x?232

?1210x ?630

?1160 x?390


材料Material

Copper

Copper

Copper

Stainless steel

Stainless steel

Stainless steel


Star wheel

尺寸Sizes

10B

13B

16B

10B

13B

16B


數(shù)量QTY

5pcs

8pcs

5pcs

5pcs

8pcs

5pcs


Auto Facing Unit

(mm/min)

1~420

1~420

1~420

N/A

N/A

N/A


尺寸Dimensions (WxDxH)   (mm)

1228 x 2482 x 2049

1740 x 2907 x 2400

1740 x 2907 x 2400

1228 x 2482 x 2049

1740 x 2520 x 2314

1740 x 2520 x 2314


重量Weight (approx, kg )

4500

8000

8000

4000

7500kg

7500



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