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* 高科技產(chǎn)業(yè)薄膜制程冷卻專用
* 需求高純度水質(zhì)、高阻抗、去陰陽離子水的高科技產(chǎn)業(yè)設(shè)備專用冷卻
* 特殊PID溫度控制器?可使溫度保持土0.2度?使主饑運(yùn)作穩(wěn)定.
* 使用高壓泵浦及迥路泄壓保護(hù)系統(tǒng)
* 使用SUS316板式熱交換器大大提升熱交換率，節(jié)省電源消耗，并維持水質(zhì)純凈，不會(huì)產(chǎn)生銹蝕導(dǎo)致回路阻塞故障。
* 所使用之離子交換樹脂專用于半導(dǎo)體業(yè)之DI水，可將水質(zhì)純度保持至1 0M?以上的絕綠度。
* 采用新型高效率環(huán)保冷媒，不污染環(huán)境。
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