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FR1000 在半導(dǎo)體和其他清潔的天然氣輸送超高純度的調(diào)節(jié)過程. 低到中等流量，這個(gè)系列的閥門在閥歧管箱，煤氣柜，和其他半導(dǎo)體制造等行業(yè)非常廣泛的應(yīng)用  

Veriflo部門的FR1000系列調(diào)節(jié)閥是非束縛隔膜的減壓閥， 提供低至中等流量的能力與入口壓力為3500 psig.FR1000提供工藝氣體導(dǎo)致在一個(gè)穩(wěn)定的流量和下游系統(tǒng)使其成為閥箱、氣瓶柜優(yōu)良的選擇壓力提供正確的控制，和許多半導(dǎo)體制造中的應(yīng)用.

標(biāo)準(zhǔn)的哈氏合金C-22?隔膜和綜合過濾促進(jìn)壽命長性能的同時(shí)，金屬對金屬密封膜片以獲得高度密封性。

FR1000提供相同的質(zhì)量、穩(wěn)定性和性能水平的派克產(chǎn)品的預(yù)期，在一個(gè)高度競爭的價(jià)格點(diǎn).新生產(chǎn)線補(bǔ)充了我們現(xiàn)有的，保費(fèi)qr4000和hf1200系列穩(wěn)壓器，和組合，將廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體制造中的應(yīng)用。

市場：

? 半導(dǎo)體制造

? 天然氣公司

特點(diǎn)/好處：

? 金屬-金屬膜片密封實(shí)現(xiàn)泄漏完整性

? 制造超高純度氣體輸送應(yīng)用

? 10英寸RA表面光潔度

? 鈍化和電解拋光

? 綜合過濾

? 標(biāo)準(zhǔn)hastelloy? 膜片

應(yīng)用：

? 工具掛鉤

? 閥門歧管箱

? 處理氣體柜

? “使用點(diǎn)”壓力調(diào)節(jié)