參考價(jià)格
面議型號(hào)
BTF-1400C-D-CVD品牌
貝意克產(chǎn)地
安徽合肥樣本
暫無非金屬電熱元件：
碳化硅金屬電熱元件：
其他燒結(jié)氣氛：
其他溫控精度：
±1℃最高溫度：
1400℃額定溫度：
≤1300℃看了PECVD系統(tǒng)的用戶又看了
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一、產(chǎn)品特色
1、開啟式加熱爐
加熱爐膛采用超輕氧化鋁纖維材料，配S型熱電偶，單點(diǎn)控溫；設(shè)備升降溫控制靈活、加熱爐可開啟方便客戶更換維修反應(yīng)管
2、氣路系統(tǒng)可精確控制4路氣體按不同流量進(jìn)行混合配比，另外單獨(dú)2路氣體可精確控制進(jìn)入蒸發(fā)器中作為載氣參與反應(yīng)。氣路管路及閥門，精工件都采用316L材質(zhì)。
3、反應(yīng)管組件
反應(yīng)管組件使用耐高溫剛玉管，石英管兩端安裝可旋轉(zhuǎn)磁流體，采用步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
4、射頻組件
大功率射頻發(fā)生器，配合石英反應(yīng)管可使整個(gè)實(shí)驗(yàn)腔體都處于輝光區(qū)域，反應(yīng)均勻。
5、蒸發(fā)系統(tǒng)
采用可控溫油浴加熱配合保溫伴熱的形式，確保蒸發(fā)源有足夠的反應(yīng)溫度
6、真空系統(tǒng)
雙真空泵聯(lián)動(dòng)結(jié)構(gòu)，配合尾氣中和罐，可對(duì)實(shí)驗(yàn)產(chǎn)生的尾氣進(jìn)行處理
7、智能控制系統(tǒng)
采用智能PID模糊控制，30段可編程控制。具有超溫和斷偶報(bào)警功能。
二、技術(shù)參數(shù)
**溫度 | 1400℃ |
持續(xù)工作溫度 | ≤1300℃ |
升溫速率 | ≤10℃/min |
控溫精度 | ±1℃ |
加熱元件 | 硅碳棒 |
熱電偶 | S型 |
控溫方式 | 模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，人工智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報(bào)警功能。 |
加熱總功率 | ≤20KW |
加熱區(qū)尺寸 | 350+400+350mm |
真空度 | ≤5pa |
射頻功率 | 1000W |
設(shè)備尺寸 | 3000*600*1500mm |
設(shè)備重量 | 約1000KG |
暫無數(shù)據(jù)！
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