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智能型CVD系統(tǒng)
智能型CVD系統(tǒng)

參考價格

面議

型號

BTF-1400C-OP-4ZL-CVD

品牌

貝意克

產(chǎn)地

安徽合肥

樣本

暫無
安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司

金牌會員

|

第13年

|

生產(chǎn)商

工商已核實

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核心參數(shù)
  • 非金屬電熱元件:

    碳化硅
  • 金屬電熱元件:

    其他
  • 燒結(jié)氣氛:

    其他
  • 溫控精度:

    ±1℃
  • 最高溫度:

    1400℃
  • 額定溫度:

    ≤1300℃
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一、產(chǎn)品特色

這是一款定制可開啟式CVD設(shè)備。該設(shè)備主要開啟式加熱爐、氣路系統(tǒng)、反應(yīng)管、智能控制系統(tǒng)。

1、開啟式加熱爐:

加熱爐膛采用超輕氧化鋁纖維材料,配S型熱電偶,單點控溫;設(shè)備升降溫控制靈活、加熱爐可開啟方便客戶更換維修反應(yīng)管

2、氣路系統(tǒng)可精確控制3路氣體按不同流量進(jìn)行混合配比,另外單獨1路可通強腐蝕氣體,配備吹掃氣路。

氣路管路及閥門,精工件都采用316L材質(zhì)。

3、反應(yīng)管組件

反應(yīng)管組件使用耐高溫剛玉管,內(nèi)加剛玉管堵,兩端密封法蘭帶水冷卻系統(tǒng),反應(yīng)管尾部帶反應(yīng)物收集冷卻裝置。實驗眾產(chǎn)生的尾氣經(jīng)過冷卻收集后再通過球閥排出。

4、氣體報警系統(tǒng)

配備有氫氣報警器,氯氣報警器、甲烷報警器。分別設(shè)置1個檢測點,報警后自動切斷氫氣、氯氣和甲烷的供應(yīng),并發(fā)出警報。

5、 智能控制系統(tǒng)          

采用智能PID模糊控制,30段可編程控制。具有超溫和斷偶報警功能。

 

二、技術(shù)參數(shù)

**溫度

1400℃

持續(xù)工作溫度

≤1300℃

升溫速率

≤10℃/min

控溫精度

±1℃

加熱元件

硅碳棒

熱電偶

S型

控溫方式

模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),人工智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能。

加熱總功率

≤9KW

加熱區(qū)尺寸

300*130*160mm

真空度

≤5pa

設(shè)備尺寸

2100*600*1350mm

設(shè)備重量

約350KG


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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價比

10分
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