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指標表

典型應(yīng)用

• 應(yīng)用于半導體、LED/激光、太陽能光伏行業(yè)

• 氣體行業(yè)

工藝介紹

• PH7-H：通過吸附工序，脫除氣體中的O₂、H₂O、CO₂等雜質(zhì)，通過吸氣柱脫除N₂、CH₄；

• PH7-H-A: 通過吸附工序,深度脫除氣體中的O₂、H₂O、CO₂、CO 等雜質(zhì)；

• 吸附柱吸附飽和后可加熱再生、反復(fù)使用；

• PH-L: 通過低溫吸附工序，深度脫出氣體中的N₂、Ar、O₂、H₂O、CO、CO₂等雜質(zhì)。