參考價格
面議型號
MGDS隔膜閥品牌
中科艾爾產(chǎn)地
北京樣本
暫無出口直徑(mm):
-進口直徑(mm):
-泵軸位置:
其他驅(qū)動方式:
其他輸送物料:
-連接方式:
其他材質(zhì):
其他口徑:
-壓力:
150psig設計標準:
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產(chǎn)品介紹
MGDS 隔膜閥,膜片式硬密封結(jié)構(gòu),超低漏率;適用于超高純度氣體,半導體用(毒、腐)氣體,滿足一體化氣體分配系統(tǒng)的使用。
主要部件材料
閥體 316L /316L(VIM+VAR)
膜片 Ni-Co alloy /UNS R30003
密封墊 PCTFE
工作條件
工作壓力 150psig
爆破壓力 450psig
流量系數(shù) 0.1/0.3HF
工作溫度 -10 ~ 80℃
內(nèi)漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
外漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
內(nèi)表面粗糙度 Ra ≤ 0.1μm
產(chǎn)品特點
適用于一體化氣路分配系統(tǒng)
每臺閥門進行單獨氦質(zhì)譜泄漏測試
超長使用壽命
暫無數(shù)據(jù)!