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      主要應(yīng)用于微納器件測(cè)量、精密儀器設(shè)備、精密光學(xué)測(cè)量、超快光譜實(shí)驗(yàn)、高分辨成像、激光干涉實(shí)驗(yàn)、光刻機(jī)等對(duì)振動(dòng)有非常高要求的儀器設(shè)備等。

技術(shù)參數(shù)：

l   固有頻率：1～2Hz（垂直），1～1.8Hz（水平）

l   隔振效率：垂直隔振82%-90%@5Hz，85%-94%@10Hz；水平隔振77%-87%@5Hz，83%-92%@10Hz；

l   重復(fù)定位精度：±0.10mm

l   氣浮隔振支架：雙層氣室，3個(gè)進(jìn)口水平調(diào)節(jié)閥，整體焊接結(jié)構(gòu)，每個(gè)氣浮腿上面都配有氣囊限位保護(hù)器，延長(zhǎng)氣囊使用壽命

l   臺(tái)面厚度：100/150/200/250/300/400mm

l   臺(tái)面平面度：≤±0.1mm/m2

l   臺(tái)面粗糙度：0.6~1.5μm

l   臺(tái)面孔間距：25mm（機(jī)械打孔），孔徑：M6螺紋孔，孔邊距：37.5mm

l   總高度：800mm，可調(diào)范圍：±10mm

l   無(wú)油靜音氣泵，噪音<50db

主要結(jié)構(gòu)特性：

l   水平方式：自動(dòng)充氣，自動(dòng)平衡

l   隔振方式：空氣彈簧

l   氣囊：采用先進(jìn)的高性能復(fù)合材料，帶氣囊限位保護(hù)器，延長(zhǎng)氣囊使用壽命

l   隔振支架：

     -整體焊接結(jié)構(gòu)，采用進(jìn)口機(jī)器人自動(dòng)焊接成型，美觀大方，無(wú)毛刺

     -先進(jìn)的噴漆工藝，保證長(zhǎng)時(shí)間即使在較惡劣的環(huán)境下也不會(huì)掉漆生銹

     -可升降的萬(wàn)向滑輪方便用戶挪動(dòng)位置

l   臺(tái)面構(gòu)造：

     -面板：~5mm厚SUS430不銹鋼，表面啞光處理，噴有防銹劑

     -內(nèi)芯：桁架式六角蜂窩芯結(jié)構(gòu)

     -下底板：~5mm厚碳鋼，噴有防銹漆，表面光亮平整

l   臺(tái)面?zhèn)冗叄簝?yōu)質(zhì)的黑色鋁塑板裝飾，外加封膠處理，4個(gè)角用不銹鋼鋼板包角處理，整體美觀大方

選型表：