參考價(jià)格
面議型號(hào)
單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)品牌
科冪產(chǎn)地
安徽樣本
暫無(wú)非金屬電熱元件:
硅鉬棒金屬電熱元件:
鐵鉻鋁絲燒結(jié)氣氛:
其他溫控精度:
±1℃最高溫度:
1150℃額定溫度:
1100℃看了單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)的用戶又看了
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高性能射頻電源.等離子體更穩(wěn)定;
滑軌式結(jié)構(gòu)能使整個(gè)反應(yīng)腔室都處于輝光產(chǎn)生區(qū);
可實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫功能;與傳統(tǒng)CVD相比較,生長(zhǎng)溫度更低。
項(xiàng)目 | 型號(hào) | TFE - 1200 - 50 - 220 |
**溫度 | 1150℃(短期) | |
額定溫度 | 1100℃ | |
推薦升溫速率 | ≤10℃/min | |
控制精度 | ±1℃ | |
爐管尺寸 | Φ30/50/60*1200mm | |
爐膛尺寸 | Φ80*220mm | |
加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 220mm | |
恒溫區(qū)長(zhǎng)度 | 80mm | |
加熱元件 | 優(yōu)質(zhì)國(guó)產(chǎn)電阻絲 | |
額定功率 | 3KW | |
供氣系統(tǒng) | 三路高精度MFC 量程0-500sccm(可定制) | |
射頻電源 | 射頻功:5-500W; 射頻頻:13.56MHz; 匹配方式:自動(dòng)匹配 | |
真空系統(tǒng) | 雙級(jí)旋片真空泵(可定制擴(kuò)散泵 分子泵等) | |
外形尺寸 | 1250*510*810mm |
暫無(wú)數(shù)據(jù)!
中國(guó)材料大會(huì)2025”將于2025年7月5-8日在福建省廈門(mén)國(guó)際會(huì)展中心舉行,涵蓋能源材料、環(huán)境材料、先進(jìn)結(jié)構(gòu)材料、功能材料、材料設(shè)計(jì)制備與評(píng)價(jià)等5大類(lèi)主題;同時(shí)開(kāi)設(shè)一批特色論壇,包括青年論壇、特色新
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劉波老師課題組蘇州科技大學(xué)1、老師簡(jiǎn)介劉波老師是蘇州科技大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院,研究員,中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所兼職研究員,齊魯工業(yè)大學(xué)客座教授。主要從事納米光電材料與器件相關(guān)研究工作。負(fù)