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MOCVD治具的清洗爐
MOCVD治具的清洗爐

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型號

清洗爐

品牌

產(chǎn)地

浙江

樣本

暫無
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該設(shè)備用于去除附著在 MOCVD 托盤和零部件上的沉積物(GaN、AlN 等)。采用潔凈氣體的干式清洗法,因此不需要濕法后道處理, 可減少托盤和零部件的損傷。


產(chǎn)品詳情:

●該設(shè)備用于去除附著在 MOCVD 托盤和零部件上的沉積物(GaN、AlN 等)。采用潔凈氣體的干式清洗法,因此不需要濕法后道處理, 可減少托盤和零部件的損傷。

●利用潔凈氣體進行干式清洗,減少對托盤造成的損傷,可有效去除沉積物的同時,相較于其他清洗方法損傷減少。
●無需后道處理工序,無需處理廢液可提高生產(chǎn)效率并降低運行成本。
●全自動清洗系統(tǒng)將托盤或零部件放入清洗爐后,只需一次開關(guān)操作即可開始清洗。
●可對應(yīng)外徑為 φ800mm 的大型托盤,可同時清洗6個。
●采用箱形腔體,節(jié)省空間、節(jié)能。

清洗原理:
通過高溫下GaN、AlN等沉積物與H2、CL2等潔凈氣體的反應(yīng),使得沉積物氣化,從 而*終達到去除目的。

20221011171231_1628.jpg設(shè)備優(yōu)勢:
① 利用潔凈氣體進行干式清洗,減少對托盤造成的損傷,可有效去除沉積物的同時,相較于其他清洗方法損傷減少。
② 無需后道處理工序,無需處理廢液??商岣呱a(chǎn)效率并降低運行成本。
③ 全自動清洗系統(tǒng),將托盤或零部件放入清洗爐后,只需一次開關(guān)操作即可開始清洗。
④ 可對應(yīng)大型托盤,可對應(yīng)外徑為 φ800mm 的托盤,可同時清洗6個。
⑤ 節(jié)省空間的設(shè)計,采用箱形腔體,節(jié)省空間、節(jié)能。
⑥ 全球范圍的清潔劑,具有多種工藝氣體,如Cl2、HCl、H2、N2

20221011171231_9416.jpg

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