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全電動二維材料轉(zhuǎn)移臺 2DTrans-ams-03品牌
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國產(chǎn)電子束光刻機實現(xiàn)自主可控，是實現(xiàn)我國集成電路產(chǎn)業(yè)鏈自主可控的重要一環(huán)。近日，澤攸科技聯(lián)合松山湖材料實驗室開展的全自主電子束光刻機整機的開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項目取得重大進展，成功研制出電子束光刻系統(tǒng)，實現(xiàn)了
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