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等離子體修飾系統(tǒng)，利用三溫區(qū)管式爐，通過氧氣輔助化學(xué)氣相沉積技術(shù)，在藍(lán)寶石襯底上外延生長(zhǎng)了大尺寸、高質(zhì)量的單層二硫化鉬薄膜。在生長(zhǎng)過程中引入氧氣，不僅能夠阻止三氧化鉬源中毒，降低形核密度，而且還能減小硫空位密度，從而實(shí)現(xiàn)了大尺寸單晶單層二硫化鉬的生長(zhǎng)。
利用等離子體修飾系統(tǒng)，在自限生長(zhǎng)的前提下，目前已實(shí)現(xiàn)了兩英寸晶圓級(jí)高質(zhì)量單層二硫化鉬的外延生長(zhǎng)（100%覆蓋度，成膜均勻），并通過改進(jìn)轉(zhuǎn)移設(shè)備，實(shí)現(xiàn)了晶圓級(jí)薄膜的零污染且襯底無損轉(zhuǎn)移。單層二硫化鉬薄膜均勻覆蓋在整個(gè)藍(lán)寶石襯底上，而且沒有縫隙，沒有重疊層。 薄膜由晶粒尺寸為 1 微米，相對(duì)取向?yàn)?60 o的晶粒拼接而成。成型薄膜只包含 60 o晶界。
等離子體修飾系統(tǒng)產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
1、避免固態(tài)源中毒；
2、成膜均勻性好；
3、成膜面積大；
4、快速、生長(zhǎng)速度可控。
暫無數(shù)據(jù)！
液晶顯示器(Liquid Crystal Display, LCD)是當(dāng)前社會(huì)中應(yīng)用非常多的顯示器，在日常生活中隨處可見。LCD主要由彩色濾光片基板(Color filter，CF)、TFT陣列(TF
2025-07-02
柔性光伏太陽能電池具有輕薄、防震、自供電等特征，有集成到建筑物或可穿戴電子設(shè)備中的巨大潛力。如果大家留意就會(huì)發(fā)現(xiàn)，晶硅太陽能電池是當(dāng)今社會(huì)中應(yīng)用最為廣泛的太陽能電池，在日常生活中隨處可見，盡管科學(xué)家
2025-07-03
利用PicoFemto?原位樣品桿發(fā)表的研究成果持續(xù)更新中，未來小編還將不斷更新產(chǎn)品應(yīng)用案例。錯(cuò)過之前報(bào)道的老師們也可以在公眾號(hào)首頁點(diǎn)擊"往期文章"閱讀。也歡迎大家關(guān)注公眾號(hào)，這里
2025-07-03
冰是水在自然界中的固體形態(tài)，在大自然中也廣泛存在，冰的結(jié)構(gòu)及形成機(jī)理研究對(duì)云物理及低溫儲(chǔ)存物理至關(guān)重要，因此科學(xué)家們對(duì)冰的研究也歷史久遠(yuǎn)。提到冰在較小尺度的存在形態(tài)，我們最容易想到的是雪花。如下圖所示
2025-07-03
隨著傳統(tǒng)馮·諾依曼結(jié)構(gòu)逐漸暴露出處理速度和能效的瓶頸，仿生神經(jīng)形態(tài)計(jì)算成為重要的替代路徑。在諸多候選器件中，憶阻器因具備非易失性、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、功耗低和可擴(kuò)展性強(qiáng)等優(yōu)勢(shì)，被視為人工突觸的理想實(shí)現(xiàn)方式。尤其
近日，浙江大學(xué)張澤院士、王江偉研究員團(tuán)隊(duì)作為第一單位在《Nat. Commun.》上發(fā)表了題為《In situ atomistic observation of disconnection-media
近日，蘇州科技大學(xué)作為第一單位，在《Inorg. Chem.》上發(fā)表了題為《Exploration of CeO2?CuO Quantum Dots in Situ Grown on Gra
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