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面議型號(hào)
SEM納米探針臺(tái).品牌
安徽澤攸產(chǎn)地
安徽樣本
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SEM納米探針臺(tái)產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)了三維空間上的準(zhǔn)確定位, 它具有分辨率高,尺寸緊湊,行程大,操作簡(jiǎn)單,能在真空下使用等優(yōu)點(diǎn),可應(yīng)于SEM真空腔體內(nèi)完成各種納米精度運(yùn)動(dòng)操作。
SEM納米探針臺(tái)產(chǎn)品使用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng),運(yùn)無需潤(rùn)滑,百分真空兼容,并可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。運(yùn)動(dòng)分辨率達(dá)到納米級(jí)。步進(jìn)和掃描雙模式工作,在宏觀行程范圍內(nèi)達(dá)到亞納米分辨率的定位。
三軸探針臺(tái)由三個(gè)單軸運(yùn)動(dòng)臺(tái)組合而成。一SEM腔體內(nèi)可安裝多個(gè)三軸探針臺(tái)。平上可安裝電學(xué)探針、光纖探針、納米鑷子、金剛石納米力壓頭、顯微注射器等各類操縱和測(cè)量頭,實(shí)現(xiàn)微納操縱和測(cè)量的目的。
產(chǎn)品應(yīng)用
單個(gè)探針指標(biāo)
外形尺寸:L48.6mm*W32.2mm*H43.6mm
X/Y/Z軸行程:±10mm
X/Y/Z軸速度:~3mm/s
X/Y/Z軸運(yùn)動(dòng)分辨率:<0.5nm
Z軸**負(fù)載:270g
標(biāo)準(zhǔn)配置包含:
探針主體
適配SEM/FIB的底座
過真空法蘭
探針控制器及控制手柄
選配:
低溫、高溫樣品臺(tái)
光纖夾頭和光纖真空饋通
EBIC套件
產(chǎn)品特點(diǎn)
結(jié)構(gòu)緊湊,高剛性
零間隙,高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)
壓電陶瓷位移平臺(tái)具有超長(zhǎng)使用壽命
內(nèi)部根據(jù)需求可增加位置反饋
應(yīng)用:納米材料操縱、納米器件電學(xué)光電等物性測(cè)量、生物細(xì)胞DNA操作等
適配SEM:日本電子、 日立、FEI、 TESCAN等
應(yīng)用案例
暫無數(shù)據(jù)!
國(guó)產(chǎn)電子束光刻機(jī)實(shí)現(xiàn)自主可控,是實(shí)現(xiàn)我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)鏈自主可控的重要一環(huán)。近日,澤攸科技聯(lián)合松山湖材料實(shí)驗(yàn)室開展的全自主電子束光刻機(jī)整機(jī)的開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目取得重大進(jìn)展,成功研制出電子束光刻系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)了
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