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晶圓上蠟機(jī)AET-2000B品牌
江蘇晶工產(chǎn)地
江蘇樣本
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產(chǎn)品說明
全自動晶圓上蠟機(jī)AET-2000B為半導(dǎo)體晶圓材料的上蠟設(shè)備，通過氣缸和氣囊共同作用下壓片，
貼蠟平整度可達(dá)2um，可兼容248mm、360mm和485mm陶瓷盤。
采用高效機(jī)械手和精密級執(zhí)行機(jī)構(gòu)，控制系統(tǒng)穩(wěn)定，重復(fù)定位精度高，產(chǎn)能大。
產(chǎn)品規(guī)格
項(xiàng)目 | 參數(shù) |
型號 | AET-2000B |
晶圓尺寸 | 2-6英寸/4-8英寸 |
材質(zhì)品種 | 碳化硅、藍(lán)寶石、磷化銦等晶圓 |
涂蠟方式 | 離心 |
加熱方式和精度 | 電熱管、±1℃ |
壓貼方式 | 氣囊 |
上下料方式 | 高效機(jī)械手及自動傳送臂 |
機(jī)械手夾持方式 | 陶瓷手指真空吸附 |
加熱盤溫控范圍 | 40-80℃ |
貼片后平整度 | ≤2um |
噴蠟重復(fù)定位精度 | ±0.05mm |
噴蠟精度 | ±0.02g |
裝載單元 | 雙工位 |
設(shè)備重量 | L2600mmxW1200mmxH1930mm;1100Kg |
自動化要求 | 半自動：機(jī)械手自動取片，手動卸片、搬運(yùn)和清洗陶瓷盤 全自動：機(jī)械手自動取片、卸片、陶瓷盤搬運(yùn)和清洗 |
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