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單位 | RS100 | RS160 | RS250 | RS440 | RS650 | RS980 | ||
抽氣速率Pump speed（50/60HZ） | L/Min | 1666 | 2666 | 4166 | 7333 | 10833 | 16333 | |
m3/h | 100 | 160 | 250 | 440 | 650 | 980 | ||
極限壓力 Ultimaate Pressure | Torr | 7.5*10-3 | ||||||
mbar | 1*10-2 | |||||||
Pa | 1 | |||||||
管路連接 Connnection | 入氣口 Inlet | KF40 | KF50 | KF50 | ISO63 | ISO63 | DN100 | |
出氣口 Outlet | NW25 | NW40 | KF50 | KF50 | KF50 | DN65 | ||
*低流量 Min.Flow | L/Min | 3 | 5 | |||||
**壓力 Max.Pressure | kg/cm3 | 4 | ||||||
壓力差 Pressure Dif. | kg/cm3 | 1 | ||||||
溫度 Temp. | ℃ | 10-40 | ||||||
接頭 | Pt 3/8'' | |||||||
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