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參數(shù)：
高度：10 – 1000μm
壁數(shù)：3-7
直徑：3- 10nm
純度：98%
密度：≤0.3 g/cm3
比表面積：～20 m2/g
電導率：103 S/m
基底：單晶硅/多晶硅/石英
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