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采用直拉法拉制的大尺寸高純度單晶系列產品,主要用于晶圓加工時刻蝕工藝中使用的極關鍵材料。提供滿足客戶要求的不同尺寸、電阻率的硅棒形態(tài)單晶產品。
產品用途
晶圓刻蝕用下電極用加工原材料。
技術參數
外徑Φ300~Φ475mm內徑客戶定制晶向(100), (111)型號/摻雜劑P/硼電阻率 (Ω.cm)≤0.01~100厚度客戶定制其他客戶定制
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產品質量
售后服務
易用性
性價比
微米級高純β-SiC粉體
碳化硅
立方碳化硅
α阿爾法相碳化硅
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