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石墨舟品牌
無錫鼎橋產(chǎn)地
江蘇樣本
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石墨舟的組成部分
石墨舟的分類
| 1.長(zhǎng)度電極導(dǎo)電型 | 2.舟腳導(dǎo)電型 | 3.隔塊導(dǎo)電型 |
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石墨舟原材料
石墨舟改進(jìn)成功方案
1.通用兼容型舟改造
方案：增加三個(gè)銷釘孔
兼容規(guī)格：156-166 166-182 182-210
2.硅片減少劃傷的石墨舟改造方案
方案：舟片內(nèi)框及邊緣增加倒角
說明：倒角分為：圓角（R角）斜角（C角）(坡角)
目的：減少機(jī)械手吸片操作時(shí)產(chǎn)生的機(jī)械劃傷
3.石墨舟載片規(guī)格156型改166型改進(jìn)方案
方案二：縮隔塊，縮框與框的間距
說明：在不影響石墨舟承載硅片數(shù)量的前提下，修改隔塊長(zhǎng)度，修改框和框之間的間距
4.硅片減少劃傷的石墨舟改造方案
方案：更換‘LV’銷釘
說明：結(jié)合‘V’型銷釘和‘U’型銷釘，改進(jìn)‘LV’銷釘
目的：減少掉片率，減少劃傷，減少硅片陰影面積
石墨舟的生產(chǎn)和質(zhì)量管理
石墨舟的質(zhì)量精度控制
暫無數(shù)據(jù)！
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