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應用行業(yè):
該設備適合加工的產品有硅晶圓、砷化鎵、鈮酸鋰、氧化鋁、陶瓷、玻璃、晶體、PCB板等。
主要應用領域:二級管、三極管、IC、LED、NTC、光伏、醫(yī)療器械、光學、晶體、QFN。
機型特點:
l 采用龍門結構,提高設備剛性,消除主軸溫升誤差;
l 采用大功率高扭矩高端直流主軸,可滿足高負載,難切割材料的精密加工;
l 雙顯微鏡配置,針對不同工件可方便切換;
l 安全保護功能齊全;
l 功能齊全,具備刀破檢測裝置,非接觸測高裝置,自動識別對準功能;
l 針對QFN,BGA器件的切割,設計特殊的對準及劃切功能。
技術指標:
序號 | 項目 | 指標參數 | 備注 |
1 | 加工尺寸 | Φ12″或300X300 mm | |
2 | 直流軸 | 轉速:6000-60000rpm | |
功率:1.8KW(選配2.2KW) | |||
3 | X軸 | 驅動方式:伺服電機 | |
劃切行程:Max300mm | |||
**行程:Max460mm | |||
分辨率:0.001mm | |||
劃切速度:0.01-600mm/s | |||
4 | Y軸 | 驅動方式:伺服電機+光柵尺 | |
劃切行程:Max300mm | |||
**行程:Max480mm | |||
分辨率:0.0001mm | |||
重復定位精度 0.002/5mm | |||
累積誤差:0.005/300mm | |||
劃切速度:0.01-120mm/s | |||
5 | Z軸 | 驅動方式:伺服電機+光柵尺 | |
**行程:Max40mm | |||
有效行程/刀盤尺寸:Max25mm/φ53mm | |||
分辨率:0.0005mm | |||
重復定位精度 0.002mm | |||
**速度: 30mm/s | |||
6 | T軸 | DD電機 | |
轉角范圍:Max320° | |||
重復定位精度: 3″ | |||
分辨率:0.0004° | |||
7 | 對準系統(tǒng) | 照明光源:同軸+環(huán)形 | |
放大倍率:0.8倍/6倍,(44X/330X) | |||
可觀測圖像大?。?.005mm | |||
8 | 設備重量 | 900 kg±5% | |
9 | 設備尺寸 | 1080x1040x1900(mm) | |
10 | 設備功率 | 5KW(380V,50Hz) |
設備精度:
切割直線度 | 0.003mm / 280mm |
工作盤平整度 | 0.008mm/Φ200mm 0.010mm/□260mm |
XY軸垂直度 | 0.015mm/200mm |
Y軸步進精度 | 單步0.002 / 5mm |
累積0.005 / 300mm | |
主軸法蘭與X軸平行度 | 0.001mm / 30mm |
功能配置:
1、測高回路檢測報警功能
2、斷點續(xù)劃功能
3、修刀盤功能
4、預劃切功能
5、掃碼遠程加載參數功能
6、自動對焦功能
7、非接觸測高功能(NCS)
8、刀具破損檢測功能(BBD)
9、自動尋邊功能
10、自動崩邊檢測功能
11、自動刀痕校正功能
使用環(huán)境:
環(huán)境溫度 | 機器應安裝在25°攝氏度的環(huán)境中。**是恒溫無塵車間。 |
電壓 | 380V±10%三相交流電(可選配220V±10%單相交流電)。 |
壓縮空氣 | 1.使用過濾度在0.01um/99.5%以上的壓縮空氣。冷干機除濕,空氣壓力0.5MPa-0.8MPa。 2.進氣管:φ12mm無色透明管,離地高度115mm。 |
切割水 | 1.切割水的水溫控制在室溫±2°C,壓力0.2-0.4MPa,可采用自來水,廢水處理后直接排放。 2.切割進水管:φ12mm藍色透明管,離地高度115mm。 3.排水管:直徑φ50mm藍色彈簧軟管,離地高度615mm。 |
主軸冷卻水 | 1.冷卻水(主軸冷卻)采用純水機循環(huán)供水,水溫控制在室溫±2°C,壓力0.2-0.4MPa。 2.冷卻水管:進、出均為φ8mm藍色透明管,離地高度115mm。 |
抽霧管 | 抽霧管直徑φ80mm藍色彈簧軟管,抽霧能力1.5m3/min,離地高度1060mm。 |
周圍環(huán)境 | 設備避免安裝在鼓風機、通風口、產生高溫和油霧的設備旁邊。 |
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