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明場光學(xué)缺陷檢測設(shè)備——BriteSD 300
明場光學(xué)缺陷檢測設(shè)備——BriteSD 300

參考價(jià)格

面議

型號(hào)

明場光學(xué)缺陷檢測設(shè)備——BriteSD 300

品牌

睿勵(lì)科學(xué)

產(chǎn)地

上海

樣本

暫無
睿勵(lì)科學(xué)儀器(上海)有限公司

高級會(huì)員

|

第1年

|

生產(chǎn)商

工商已核實(shí)

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明場光學(xué)缺陷檢測設(shè)備——BriteSD 300


BriteSD系列是睿勵(lì)科學(xué)儀器(上海)有限公司在2023年**推出的明場光學(xué)圖形晶圓缺陷檢測設(shè)備。

該系列適用于集成電路制造、化合物半導(dǎo)體等領(lǐng)域的缺陷檢測,

可檢測缺陷類型:顆粒、污染、圖形缺少、劃傷、圖形黏連、殘留等,具備晶圓全表面檢測、

自動(dòng)缺陷分類以及高分辨率的缺陷復(fù)查功能,運(yùn)用睿勵(lì)自主開發(fā)的先進(jìn)光學(xué)系統(tǒng)和多種獨(dú)特的算法

,可以應(yīng)用于檢測更小的缺陷。


主要特點(diǎn):

l 支持8/12吋wafer

l 明場檢測

l 支持硅片、SiC片檢測

l 支持Auto Review 功能

l 可多組倍鏡切換:1X、2X、5X、20X、50X


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