參考價(jià)格
面議型號(hào)
低溫真空泵品牌
亞祥(寧波)產(chǎn)地
浙江樣本
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-壓力:
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其他驅(qū)動(dòng)方式:
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低溫真空泵概述:
所謂低溫真空泵是一種利用低溫冷凝和低溫吸附原理抽氣的集聚式真空泵,是無油高真空環(huán)境獲得設(shè)備。
產(chǎn)品特點(diǎn):
無油無污染,極純凈真空環(huán)境。
高極限真空,可達(dá)10-7Pa以上真空。
不需液氮,運(yùn)行成本低。
操作簡(jiǎn)單,可任意方向安裝。
安全方便,使用壽命長。
①啟動(dòng)粗抽泵。
②打開粗抽閥。
③當(dāng)泵內(nèi)壓力到達(dá)40Pa時(shí),關(guān)閉粗抽閥,做保壓測(cè)試。
④泵內(nèi)壓力從40Pa上升至45Pa的時(shí)間若少于5分鐘,則重復(fù)步驟2、3。
⑤在滿足步驟4的情況下,再一次將泵粗抽至40Pa以下,關(guān)閉粗抽閥。
⑥啟動(dòng)壓縮機(jī),低溫真空泵開始運(yùn)轉(zhuǎn)。
①關(guān)閉主閥,并停止低溫真空泵。
②啟動(dòng)再生用加熱帶,開啟氮?dú)鈱?dǎo)入閥,導(dǎo)入氮?dú)狻?/p>
③當(dāng)一級(jí)、二級(jí)溫度達(dá)到300K時(shí),停止氮?dú)鈱?dǎo)入,升溫完成。
④進(jìn)行泵內(nèi)粗抽,并保壓測(cè)試。若保壓不合格則重復(fù)步驟2、3,直到合格為止。
⑤斷開加熱帶,并按照規(guī)定流程啟動(dòng)低溫真空泵。
⑥二級(jí)溫度降至20K時(shí),降溫完成,再生結(jié)束。
應(yīng)用領(lǐng)域:
蒸發(fā)鍍膜設(shè)備 | 半導(dǎo)體制造設(shè)備 | 空間模擬設(shè)備 |
濺射鍍膜設(shè)備 | 分子束外延設(shè)備 | 表面分析設(shè)備 |
離子注入設(shè)備 | 加速器束流管 | 高能物理研究裝置 |
暫無數(shù)據(jù)!