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SiC晶圓表面載流子濃度檢測品牌
中科匯珠產(chǎn)地
廣東樣本
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技術參數(shù):
1)測試模式: MOS、Schottky
2)樣品尺寸:直徑≤200mm，非標樣品或者碎片*小測試尺寸30mmX30mm
3)外延層載流子濃度測試范圍:1E14-5E18cm-3
4)單點測試面積:0.018-0.027 cm2
5)汞接觸面積重復性:1sigma<0.5%
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