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典型應(yīng)用
化工行業(yè)、硅片產(chǎn)業(yè)、 LED、激光、航空航天業(yè)，光纖產(chǎn)業(yè)
工藝介紹
1、氣體通過催化和吸附工序，深度脫除氣體中的0?、H?O、CO?、CO、H2 、THC等雜質(zhì)。
2、吸附柱吸附飽和后可加熱再生、反復(fù)使用。
純化指標(biāo)表
氣體類別 | 可純化氣體 | 去除雜質(zhì) | 純化指標(biāo) |
D-惰性氣體 | N?、Ar、He、Ne、Kr | H?0、0?、CO、CO?、H?、THC | <10ppb |
Y-氧氣 | O? | H?O、CO?、CO、H?、THC | |
Q-氫氣 | H? | H?O、0?、CO、CO?、THC |
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