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千噸級(jí)多晶硅生產(chǎn)技術(shù)獲新突破 填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白


來(lái)源:新華網(wǎng)

6月2日,由洛陽(yáng)中硅高科承擔(dān)的三個(gè)國(guó)家“十一五”科技支撐計(jì)劃課題——“大型三氯氫硅合成、提純工藝技術(shù)與關(guān)鍵裝置研究”、“高效加壓還原爐系統(tǒng)研究”、“大型低溫加壓四氯化硅氫化技術(shù)與裝置研究”和一項(xiàng)參與完成的課題“多晶硅標(biāo)準(zhǔn)、專利體系建設(shè)與研究”,順利通過(guò)了驗(yàn)收評(píng)審。這四項(xiàng)科技成果解決了規(guī)模化多晶硅生產(chǎn)中的瓶頸問(wèn)題,打破了國(guó)外技術(shù)封鎖,填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白,標(biāo)志著我國(guó)千噸級(jí)多晶硅生產(chǎn)集成工藝技術(shù)又獲新突破。

  驗(yàn)收評(píng)審會(huì)由國(guó)家科技部和中國(guó)電子材料行業(yè)協(xié)會(huì)組織召開。專家組成員在深入實(shí)地考察了課題現(xiàn)場(chǎng)后,經(jīng)過(guò)認(rèn)真質(zhì)疑和討論,一致同意以上四個(gè)項(xiàng)目通過(guò)驗(yàn)收。

  多晶硅是集成電路和光伏發(fā)電用關(guān)鍵原材料,是國(guó)家重點(diǎn)鼓勵(lì)發(fā)展的產(chǎn)品和產(chǎn)業(yè)。為滿足集成電路與光伏發(fā)電產(chǎn)業(yè)對(duì)高純多晶硅材料的迫切需求,2006年科技部啟動(dòng)了“十一五”國(guó)家科技支撐計(jì)劃“多晶硅材料產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵技術(shù)開發(fā)”重點(diǎn)項(xiàng)目,中硅高科承擔(dān)、參與完成了上述四項(xiàng)課題。

  據(jù)介紹,這些研發(fā)成果在年產(chǎn)1000噸多晶硅生產(chǎn)線上推廣應(yīng)用后,運(yùn)轉(zhuǎn)狀況良好,提高了多晶硅生產(chǎn)單爐和綜合產(chǎn)能,大大降低了生產(chǎn)成本,提高了產(chǎn)品質(zhì)量,有力提升了我國(guó)多晶硅產(chǎn)業(yè)綜合競(jìng)爭(zhēng)力,使我國(guó)多晶硅生產(chǎn)進(jìn)入世界大國(guó)、強(qiáng)國(guó)行列。
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