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以氮化鎵和碳化硅為代表的第三代半導體器件制備及評價技術取得突破


來源:科技部

[導讀]  以氮化鎵(GaN)和碳化硅(SiC)為代表的第三代半導體材料,具備高擊穿電場、高熱導率、高電子飽和速率及抗強輻射能力等優(yōu)異性能,更適合于制作高溫、高頻、抗輻射及大功率電子器件,在光電子和微電子領域具有重要的應用價值。

中國粉體網訊  以氮化鎵(GaN)和碳化硅(SiC)為代表的第三代半導體材料,具備高擊穿電場、高熱導率、高電子飽和速率及抗強輻射能力等優(yōu)異性能,更適合于制作高溫、高頻、抗輻射及大功率電子器件,在光電子和微電子領域具有重要的應用價值。
   

“十二五”期間,863計劃重點支持了“第三代半導體器件制備及評價技術”項目。近日,科技部高新司在北京組織召開項目驗收會。項目重點圍繞第三代半導體技術中的關鍵材料、關鍵器件以及關鍵工藝進行研究,開發(fā)出基于新型基板的第三代半導體器件封裝技術,滿足對應高性能封裝和低成本消費級封裝的需求,研制出高帶寬GaN發(fā)光器件及基于發(fā)光器件的可見光通信技術,并實現智能家居演示系統(tǒng)的試制;開展第三代半導體封裝和系統(tǒng)可靠性研究,形成相關標準或技術規(guī)范;制備出高性能SiC基GaN器件。通過項目的實施,我國在第三代半導體關鍵的SiC和GaN材料、功率器件、高性能封裝以及可見光通訊等領域取得突破,自主發(fā)展出相關材料與器件的關鍵技術,有助于支撐我國在節(jié)能減排、現代信息工程、現代國防建設上的重大需求。
   

“十三五”期間,為進一步推動我國材料領域科技創(chuàng)新和產業(yè)化發(fā)展,科技部制定了《“十三五”材料領域科技創(chuàng)新專項規(guī)劃》,將“戰(zhàn)略先進電子材料”列為發(fā)展重點之一,以第三代半導體材料與半導體照明、新型顯示為核心,以大功率激光材料與器件、高端光電子與微電子材料為重點,推動跨界技術整合,搶占先進電子材料技術的制高點。


(中國粉體網編輯整理/平安)

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