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增速最快需求最大 多晶硅生產(chǎn)技術(shù)進入攻堅期


來源:科技日報

[導(dǎo)讀]  縱觀現(xiàn)狀,我國高端集成電路制造骨干企業(yè)發(fā)展迅速,但所需的集成電路產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)材料——電子級多晶硅和電子級特種氣體仍然依賴進口,亟待進行相關(guān)產(chǎn)品的研發(fā)生產(chǎn)補短板。

中國粉體網(wǎng)訊  “歷經(jīng)幾十年發(fā)展,中國已成為全球集成電路產(chǎn)業(yè)增速最快、市場需求最大、國際貿(mào)易最活躍的地區(qū)。產(chǎn)業(yè)化進程正在開始,還需不斷努力。”在近日舉行的“浙江大學(xué)硅材料國家重點實驗室——黃河水電集成電路硅材料聯(lián)合研發(fā)中心”(以下簡稱聯(lián)合研發(fā)中心)揭牌儀式上,中國科學(xué)院院士楊德仁表示,當(dāng)前和今后一段時期是我國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重要戰(zhàn)略機遇期和攻堅期。


縱觀現(xiàn)狀,我國高端集成電路制造骨干企業(yè)發(fā)展迅速,但所需的集成電路產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)材料——電子級多晶硅和電子級特種氣體仍然依賴進口,亟待進行相關(guān)產(chǎn)品的研發(fā)生產(chǎn)補短板。針對目前半導(dǎo)體硅材料行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀,楊德仁在接受科技日報記者專訪時表示,我國半導(dǎo)體硅材料一類是用于太陽能光伏的硅材料,一類是微電子所用的硅材料。在太陽能光伏硅材料方面,我國產(chǎn)業(yè)技術(shù)和產(chǎn)業(yè)規(guī)模在國際上均處于第一梯隊的領(lǐng)先地位。而微電子硅材料研發(fā)生產(chǎn)尚處于第二梯隊狀態(tài),與國際最好水平還有一定差距。“目前我國已完成或滿足了6英寸、5英寸及以下小尺寸集成電路硅片的產(chǎn)業(yè)化需求;8英寸硅片關(guān)鍵技術(shù)已經(jīng)突破,目前10%—15%的集成電路用8英寸硅片實現(xiàn)了原產(chǎn)化,12英寸硅片生產(chǎn)技術(shù)剛剛?cè)〉猛黄。”楊德仁說。


中國電子材料行業(yè)協(xié)會原秘書長袁桐也認(rèn)為,我國電子材料行業(yè)發(fā)展行業(yè)規(guī)模已達年產(chǎn)值4000億元。但目前我國電子信息新材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展中存在缺少統(tǒng)籌規(guī)劃和支持、缺少技術(shù)領(lǐng)軍企業(yè)、下游需求旺盛但多數(shù)關(guān)鍵產(chǎn)品嚴(yán)重依賴進口、創(chuàng)新能力不足、高端產(chǎn)品自給率不高、產(chǎn)學(xué)研用結(jié)合不緊密、產(chǎn)業(yè)化能力不強等問題,攻克技術(shù)難題勢在必行。


在此形勢下,為提升我國集成電路產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新能力,聯(lián)合研發(fā)中心應(yīng)運而生,將圍繞集成電路硅材料和高純特種氣體等國家重大需求的關(guān)鍵技術(shù)開展研究,助力更好更快地推進科技創(chuàng)新并盡早轉(zhuǎn)化科研成果。


黃河上游水電開發(fā)有限責(zé)任公司黨委書記、董事長謝小平接受科技日報記者采訪時表示,聯(lián)合研發(fā)中心的成立,將圍繞集成電路硅材料和高純特種氣體等國家重大需求的關(guān)鍵技術(shù)開展研究,旨在通過校企合作發(fā)揮優(yōu)勢互補,構(gòu)建以企業(yè)為主體、產(chǎn)學(xué)研相結(jié)合的技術(shù)研發(fā)體系,以集成電路用半導(dǎo)體材料、高純半導(dǎo)體材料檢測技術(shù)等開發(fā)為研究方向,實現(xiàn)學(xué)術(shù)研究與市場應(yīng)用的相互促進。


(中國粉體網(wǎng)編輯整理/初末)

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