中國粉體網(wǎng)訊  近日，小編看到這樣一個問題：超導材料領域中的“MCZ用超導磁體”主要用在半導體單晶硅生產(chǎn)，請問這種超導磁體是生產(chǎn)單晶硅的半導體設備中的一種零部件？還是一種有耗材屬性的生產(chǎn)半導體材料？

首先我們認識一下什么是MCZ。

MCZ，英文名字為Magnetic Field Applied Czochralski Method，即磁控直拉單晶硅技術，是一種在傳統(tǒng)直拉(CZ)硅單晶生長基礎上，外加磁場，從而抑制晶體生長中產(chǎn)生的熱對流，有效提高長晶成功率，降低晶體內(nèi)的氧含量，從而提高晶體質量。MCZ是目前國際上生產(chǎn)300mm以上大尺寸半導體級單晶硅的最主要方法。

超導磁體是什么？

超導磁體是指低溫下用具有高轉變溫度和臨界磁場特別高的第二類超導體制成線圈的一種電磁體。它的主要特點是無導線電阻產(chǎn)生的電損耗，也沒有因鐵芯存在而產(chǎn)生的磁損耗，具有很強的實用價值。在工業(yè)和科研上應用極廣，但它必須在液態(tài)氦溫度下工作，成本較高。

MCZ用超導磁體

磁控直拉單晶硅用超導磁體，用于對磁控直拉法制備單晶硅提供背景磁場，是半導體單晶硅長晶爐一個重要組件。制冷機直冷超導磁體的特點是不需要用液氮，這降低了冷卻成本，且磁體體積較小， 操作較為方便。

圖片來源：西安聚能超導磁體

西部超導自主研發(fā)的專門用于磁控直拉單晶硅的大型制冷機直冷超導磁體實現(xiàn)了批量化制造，已服務國內(nèi)外多家高品質300mm單晶硅棒生產(chǎn)企業(yè)，使用效果良好。

參考來源：每日經(jīng)濟新聞、西部聚能超導磁體科技有限公司、愛企查等。

【1】穆童.超導橫向磁場在大尺寸半導體級單晶硅長晶中的應用.時代農(nóng)機.2020.

（中國粉體網(wǎng)編輯整理/星耀）

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