中國(guó)粉體網(wǎng)訊 半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，催生了一大批服務(wù)配套產(chǎn)業(yè)。其中就包含設(shè)備零部件洗凈服務(wù)產(chǎn)業(yè)，半導(dǎo)體設(shè)備零部件洗凈產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速，市場(chǎng)主體不斷增加，市場(chǎng)規(guī)模迅速增長(zhǎng)。
洗凈服務(wù)是新設(shè)備零部件組裝前必不可少的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，也是使用中的設(shè)備日常保養(yǎng)和維護(hù)的重要措施和必要環(huán)節(jié)。半導(dǎo)體設(shè)備零部件對(duì)洗凈及延伸服務(wù)廠商在資金、技術(shù)、人才和客戶資源等各個(gè)方面要求要明顯高于面板行業(yè)。而面板設(shè)備零部件洗凈行業(yè)的零部件較大、市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)激烈、更看重價(jià)格，兩者差別明顯。
隨著產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，洗凈服務(wù)企業(yè)的業(yè)務(wù)由單純的洗凈業(yè)務(wù)延伸到陶瓷熔射和陽(yáng)極氧化等附加值較高的服務(wù)領(lǐng)域。泛半導(dǎo)體洗凈市場(chǎng)的服務(wù)產(chǎn)品幾乎涵蓋了整個(gè)工藝制程的設(shè)備零部件，其中以刻蝕設(shè)備和薄膜生長(zhǎng)設(shè)備零部件業(yè)務(wù)為主，其他工藝制程的設(shè)備零部件（如離子注入、蒸鍍、OpenMask、爐管、化學(xué)機(jī)械研磨和光刻設(shè)備零部件）也都需要進(jìn)行定期的洗凈保養(yǎng)，只是業(yè)務(wù)比重不大。
何為陶瓷熔射？
由于半導(dǎo)體制造過(guò)程經(jīng)常處于高溫、強(qiáng)腐蝕性環(huán)境中，因此半導(dǎo)體零部件約有一半以上需做表面處理，以提升其耐腐蝕性。例如半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備的等離子體刻蝕腔室處于高密度、高腐蝕、高活性等離子體環(huán)境中，腔室及其組件極易受到等離子體的腐蝕，為了延長(zhǎng)這些組件的使用壽命，經(jīng)常采用在鋁基材料（鋁與鋁合金）表面進(jìn)行陽(yáng)極氧化、陶瓷熔射等手段以有效地降低等離子體對(duì)腔室及其它鋁基材料的腐蝕。
陶瓷熔射技術(shù)是一種熱噴涂技術(shù)，其基本原理是將陶瓷材料加熱熔化，在氣體帶送高速下沖擊附著于底材或工件表面。熔射技術(shù)有火焰熔射、電弧熔射、電漿熔射、以及等離子熔射等不同的方法。發(fā)明人權(quán)太植公開(kāi)了一種干式刻蝕工藝用陶瓷件的熔射方法，首先將待熔射陶瓷件放入到浸泡液中浸泡；接著采用純水洗凈陶瓷件并烘干；然后采用耐高溫遮蔽膠帶和特氟龍帽對(duì)陶瓷件進(jìn)行遮蔽，遮蔽非熔射面，露出熔射面；再對(duì)熔射面進(jìn)行噴砂處理，接著對(duì)熔射面進(jìn)行等離子噴涂；然后去除陶瓷件上遮蔽的耐高溫遮蔽膠帶和特氟龍帽，再進(jìn)行二次清洗，烘干；最后檢查熔射涂層的外觀和尺寸。
等離子噴涂工藝工作原理圖
陶瓷熔射的涂層性能指標(biāo)包括涂層厚度、硬度、結(jié)合強(qiáng)度、孔隙率、耐磨性、電化學(xué)性能、抗腐蝕性、表面離子污染和雜質(zhì)污染等物理化學(xué)性質(zhì)和使用性能。隨著產(chǎn)業(yè)的發(fā)展設(shè)備零部件對(duì)耐腐蝕涂層的要求越來(lái)越高，應(yīng)用范圍也越來(lái)越大。陶瓷熔射的主要零部件包括：半導(dǎo)體刻蝕腔體內(nèi)內(nèi)襯、鐘罩、靜電吸盤(pán)、氣體分配盤(pán)等關(guān)鍵零部件，TFT刻蝕腔體中的陶瓷板、內(nèi)壁板、上部電極、下部電極等重要零部件，在物理和化學(xué)氣相沉積設(shè)備的腔體中也有應(yīng)用。
2020年國(guó)內(nèi)泛半導(dǎo)體零部件清洗市場(chǎng)總計(jì)26億元人民幣，其中面板9.8億人民幣、半導(dǎo)體16.2億人民幣。據(jù)有關(guān)機(jī)構(gòu)預(yù)測(cè)，預(yù)計(jì)到2025年洗凈市場(chǎng)增加到43.4億，年復(fù)合增長(zhǎng)率10.8%。在陶瓷熔射和陽(yáng)極氧化方面，國(guó)內(nèi)廠商在半導(dǎo)體領(lǐng)域還需要破局，這兩方面業(yè)務(wù)市場(chǎng)達(dá)到4.9億人民幣，2025年將增長(zhǎng)至8.7億人民幣。
參考來(lái)源：
[1]朱晶.半導(dǎo)體零部件產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀及對(duì)我國(guó)發(fā)展的建議
[2]一文讀懂國(guó)內(nèi)泛半導(dǎo)體設(shè)備零部件洗凈服務(wù)行業(yè).芯謀研究
