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哈爾濱年產(chǎn)10萬片碳化硅襯底項(xiàng)目投產(chǎn)


來源:黑龍江日?qǐng)?bào)

[導(dǎo)讀]  日前,科友第三代半導(dǎo)體產(chǎn)學(xué)研聚集區(qū)項(xiàng)目一期正式投用。

中國粉體網(wǎng)訊  日前,經(jīng)過一年緊張施工,位于哈爾濱新區(qū)江北一體發(fā)展區(qū)的科友第三代半導(dǎo)體產(chǎn)學(xué)研聚集區(qū)項(xiàng)目一期正式投用。


據(jù)悉,科友第三代半導(dǎo)體產(chǎn)學(xué)研聚集區(qū)項(xiàng)目由哈爾濱科友半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)裝備與技術(shù)研究院有限公司(簡稱科友半導(dǎo)體)與哈爾濱新區(qū)共同投資10億元建設(shè),將打造包括技術(shù)開發(fā)、裝備設(shè)計(jì)等在內(nèi)的全產(chǎn)業(yè)鏈的科技成果轉(zhuǎn)化及產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用研究集聚區(qū),并以哈爾濱為總部,打造國家級(jí)第三代半導(dǎo)體裝備與材料創(chuàng)新中心,成為我省第三代半導(dǎo)體材料研發(fā)及裝備制造的新高地。從2021年7月正式開工以來搶抓工期,短短一年多時(shí)間,就完成了項(xiàng)目一期2萬平方米廠區(qū)的建設(shè)。


科友半導(dǎo)體成立于2018年,是一家專注于第三代半導(dǎo)體裝備研發(fā)、襯底制造、器件設(shè)計(jì)、技術(shù)轉(zhuǎn)移和科研成果轉(zhuǎn)化的國家級(jí)高新技術(shù)企業(yè),具備解決我國在高端裝備和襯底材料制造上“卡脖子”問題的超強(qiáng)實(shí)力。作為數(shù)字經(jīng)濟(jì)發(fā)展底盤支撐,科友半導(dǎo)體大尺寸碳化硅襯底材料廣泛應(yīng)用在5G通訊、新能源汽車、芯片制造、照明光源等領(lǐng)域。


科友半導(dǎo)體成立以來,公司創(chuàng)始人趙麗麗一直致力于半導(dǎo)體晶體材料特別是第三代半導(dǎo)體材料的裝備設(shè)計(jì)開發(fā)、關(guān)鍵工藝技術(shù)研發(fā)及科研成果產(chǎn)業(yè)化工作。在趙麗麗帶領(lǐng)下,科友科研團(tuán)隊(duì)攻堅(jiān)克難,取得了可喜成果。


目前,科友半導(dǎo)體研制的碳化硅感應(yīng)長晶爐已實(shí)現(xiàn)99%的部件國產(chǎn)化替代,電阻式長晶爐也具備投產(chǎn)條件。在碳化硅晶體生長方面,科友半導(dǎo)體在6英寸碳化硅單晶厚度上突破32毫米,達(dá)到國內(nèi)領(lǐng)先。同時(shí),在長晶周期、生產(chǎn)成本、晶體良率等方面已經(jīng)達(dá)到并保持國際同行業(yè)先進(jìn)水平。


科友第三代半導(dǎo)體產(chǎn)學(xué)研聚集區(qū)的建成投用,將使科友半導(dǎo)體以更高的長晶良率、更快的長晶速度、更低的長晶成本,弄潮第三代半導(dǎo)體行業(yè)大潮,致力成為全球第三代半導(dǎo)體關(guān)鍵材料供應(yīng)商之一。


“目前生產(chǎn)車間里已經(jīng)安裝完100臺(tái)長晶爐,后續(xù)還要安裝100臺(tái)。預(yù)計(jì)年底全部達(dá)產(chǎn)后可形成年產(chǎn)10萬片6英寸碳化硅襯底的生產(chǎn)能力。”科友半導(dǎo)體副總經(jīng)理段樹國告訴記者,科友第三代半導(dǎo)體產(chǎn)學(xué)研聚集區(qū)將繼續(xù)深耕第三代半導(dǎo)體材料和裝備領(lǐng)域,努力實(shí)現(xiàn)碳化硅材料從提純—裝備制造—晶體生長—襯底加工—外延晶圓的全產(chǎn)業(yè)鏈閉合,成為行業(yè)內(nèi)頂尖的材料端全閉合企業(yè)。按照企業(yè)發(fā)展規(guī)劃,未來兩年科友半導(dǎo)體將實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)20萬~30萬片碳化硅襯底的產(chǎn)能,成為全球碳化硅襯底重要供應(yīng)商之一。


(中國粉體網(wǎng)編輯整理/山川)

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