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從浙江省這一官方文件,看高科技對石英新材料的性能要求


來源:中國粉體網(wǎng)   平安

[導讀]  從浙江省這一官方文件,看高科技對石英新材料的性能要求

中國粉體網(wǎng)訊  近日,浙江省經(jīng)信廳發(fā)布了關(guān)于印發(fā)浙江省重點新材料首批次應用示范指導目錄(2022年版)的通知。據(jù)中國粉體網(wǎng)小編了解,該指導目錄中涉及多種石英新材料。




材料名稱:光纖用高純四氯化硅

性能要求:

所含金屬雜質(zhì)達到PPb級。

應用領(lǐng)域:電子、半導體、光纖預制棒、石英玻璃

材料名稱:半導體級電弧石英坩堝

性能要求:

規(guī)格:14-24英寸;

內(nèi)層純度:所有金屬雜質(zhì)含量<12ppm;

強度1500度高溫變形率<2%;

壽命可達200小時。

應用領(lǐng)域:集成電路、半導體、光伏

材料名稱:制備高純半絕緣碳化硅晶片用石英大管材

性能要求:

OD440-500mm大口徑石英管焊接過程不爆裂;

兩段管體拼接后,整管同心度<1mm;

大管對接后內(nèi)外徑公差保證<±0.25mm,管子平面度<0.2,垂直度<0.12。

應用領(lǐng)域:半導體或光伏晶片擴散用石英爐管

材料名稱:光掩;逵檬⒉AЩ

性能要求:

規(guī)格尺寸:8寸及以下;

尺寸精度:達到國際SEMI標準;

材料金屬雜質(zhì)含量≤2ppm;

材料氣泡:Ⅰ級,條紋等級:Ⅰ級,應力雙折射:Ⅰ級;

光譜透過率:T190-280nm≥80%。

應用領(lǐng)域:集成電路、半導體

材料名稱:高純石英材料

性能要求:

材料結(jié)構(gòu)穩(wěn)定,精密機械加工后尺寸精度可達±0.002,熱加工處理后,應力可以3°以下;

材料純度含量達到99.999%;

材料表面不允許有任何有色異物。

應用領(lǐng)域:集成電路制造

材料名稱:低缺陷高平坦度的大尺寸半導體硅晶圓

性能要求:

大尺寸半導體硅晶圓300mm(12英寸)。

應用領(lǐng)域:消費電子、汽車、5G、人工智能芯片等

材料名稱:8英寸重摻硅單晶拋光片

性能要求:

晶向<100>,摻雜元素磷(Ph),電阻率0.0007~0.0014ohm·cm,氧含量8~18ppma。

應用領(lǐng)域:集成電路及分立器件領(lǐng)域

材料名稱:先進封裝MUF用20μm cut合成二氧化硅球硅材料

性能要求:

每400顆二氧化硅球中200nm以上內(nèi)孔球顆數(shù):≦2個;

Uranium/Thorium content(鈾釷含量):≦1ppb;

最頻值(mode值μm ): 9~11μm;

Maxim particle size(最大粒徑): ≦20μm。

應用領(lǐng)域:集成電路制造

材料名稱:高純納米硅粉

性能要求:

純度99.999%以上,粒度控制在100nm以內(nèi)。

應用領(lǐng)域:鋰離子電池負極材料、碳硅包覆材料、新一代電子和量子器件、生物醫(yī)藥

(中國粉體網(wǎng)編輯整理/平安)

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作者:平安

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