中國(guó)粉體網(wǎng)訊  近日，河南黃河旋風(fēng)（600172）股份有限公司碳化硅切割專用金剛線鋸研發(fā)取得突破，經(jīng)多家客戶使用，其產(chǎn)品性能已完全達(dá)到甚至超過(guò)日本同類產(chǎn)品水平，不論在切割效率、切割質(zhì)量還是切割穩(wěn)定性，均全面優(yōu)于現(xiàn)有砂漿切割水平。

近年來(lái)，以氮化鎵、碳化硅為代表的第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅猛，國(guó)家高度重視，企業(yè)積極布局，整個(gè)行業(yè)呈現(xiàn)爆發(fā)式的增長(zhǎng)勢(shì)頭。碳化硅材料作為第三代半導(dǎo)體之一，具有優(yōu)異的性能，同時(shí)也具有難加工的特點(diǎn)，其超高的硬脆性特點(diǎn)導(dǎo)致加工難度大、風(fēng)險(xiǎn)高、效率低、良品率不高，尤以切割為難點(diǎn)。目前市場(chǎng)上主要以金剛石砂漿切割為主，切割速度慢，效率低，砂漿利用率低，成本居高不下，砂漿用微粉供應(yīng)已達(dá)極限，固結(jié)金剛線替代砂漿切割已成必然趨勢(shì)。

目前市場(chǎng)上能夠穩(wěn)定供應(yīng)的碳化硅切割線僅有日本某企業(yè)，在美日等國(guó)對(duì)我國(guó)芯片行業(yè)打壓的大背景下，碳化硅切割金剛線的國(guó)產(chǎn)化就特別迫切。然而碳化硅晶圓價(jià)值高，要求切割低風(fēng)險(xiǎn)、高質(zhì)量，對(duì)金剛線的質(zhì)量要求就極為嚴(yán)苛。

黃河旋風(fēng)作為超硬材料龍頭企業(yè)，充分發(fā)揮全產(chǎn)業(yè)鏈覆蓋的優(yōu)勢(shì)，多部門(mén)協(xié)同研發(fā)，利用其從日本住友引進(jìn)吸收的金剛線設(shè)備和技術(shù)，深入開(kāi)展金剛石線鋸對(duì)碳化硅的切割機(jī)理研究，重點(diǎn)對(duì)切割中金剛石的失效機(jī)理進(jìn)行深入挖掘，適配了專用金剛石及微粉，確保了該產(chǎn)品優(yōu)異的切割能力以及材料、產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性。

黃河旋風(fēng)碳化硅切割專用金剛線線徑均勻、線絲圓度好、磨料分布均勻、出刃高。

在6英寸絕緣型及導(dǎo)電型碳化硅晶體的切割過(guò)程中，線弓小、無(wú)斷線，切割后晶面平整無(wú)線紋，切割用線量介于500-800m/片。

經(jīng)多家客戶的切割使用驗(yàn)證，切割后線徑磨損均勻，均取得穩(wěn)定的切割數(shù)據(jù)，且可獲得同等于砂漿切割的晶片質(zhì)量，可大幅提升切割效率降低生產(chǎn)成本。

　　附 表

（中國(guó)粉體網(wǎng)編輯整理/山川）

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