日前，成都理工大學(xué)自行研制的“一種用天然粉石英制備高純球形納米非晶態(tài)硅微粉的方法”，獲得國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局專(zhuān)利申請(qǐng)。該專(zhuān)利技術(shù)以?xún)r(jià)格低廉的天然優(yōu)質(zhì)粉石英礦物為基本原料，采用溶膠-凝膠技術(shù)，在分散劑和球形催化劑存在的條件下，制備出符合電子封裝材料要求的高純球形納米非晶態(tài)硅微粉，打破了美、日、德等少數(shù)國(guó)家對(duì)該技術(shù)的壟斷局面，表明我國(guó)球形硅微粉研究獲得新的重大進(jìn)展。

　　球形硅微粉主要用于大規(guī)模集成電路封裝，在航空、航天、精細(xì)化工、可擦寫(xiě)光盤(pán)、大面積電子基板、特種陶瓷及日用化妝品等高新技術(shù)領(lǐng)域也有應(yīng)用，市場(chǎng)前景廣闊。專(zhuān)家預(yù)計(jì)，到2010年僅我國(guó)對(duì)球形硅微粉的需求即達(dá)2萬(wàn)～3萬(wàn)噸，高純硅微粉為10萬(wàn)噸，年均增長(zhǎng)率均超過(guò)20%。世界對(duì)球形硅微粉的需求量將超過(guò)30萬(wàn)噸，價(jià)值數(shù)百億元。隨著我國(guó)微電子工業(yè)的迅猛發(fā)展，大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路對(duì)封裝材料的要求越來(lái)越高，不僅要求其超細(xì)，而且要求高純度，特別是對(duì)于顆粒形狀提出球形化要求。但制備球形硅微粉是一項(xiàng)跨學(xué)科高難度工程，目前世界上只有美國(guó)、日本、德國(guó)、加拿大和俄羅斯等少數(shù)國(guó)家掌握此技術(shù)。

　　為打破國(guó)外對(duì)我國(guó)球形硅微粉生產(chǎn)技術(shù)與專(zhuān)用設(shè)備的嚴(yán)密封鎖，“十五”以來(lái)，我國(guó)有20多家研究單位先后對(duì)該技術(shù)裝備進(jìn)行了攻關(guān)，并取得了突破性進(jìn)展。中科院過(guò)程工程研究所研制成功高純球形硅微粉制備新工藝；湖北省建材研究設(shè)計(jì)院與清華大學(xué)材料系合作開(kāi)展高純超細(xì)球形化硅微粉研究已通過(guò)省級(jí)鑒定；武漢大學(xué)采用化學(xué)合成技術(shù)制備球形硅微粉，技術(shù)指標(biāo)達(dá)到日本NipponShokuba公司KE-P系列產(chǎn)品的水平；湖北武漢帥爾光電子粉體新材料有限公司研制的超大規(guī)模集成電路封裝料用球形硅微粉項(xiàng)目和四川省綿陽(yáng)市三慧硅質(zhì)材料有限公司研制的高純超細(xì)球形硅微粉成型技術(shù)項(xiàng)目，均列入2003年國(guó)家科技創(chuàng)新基金項(xiàng)目；云南超微新材料有限責(zé)任公司研制的高溫熔融方法生產(chǎn)球形熔融硅微粉項(xiàng)目，進(jìn)入2004年國(guó)家新材料高技術(shù)產(chǎn)業(yè)化專(zhuān)項(xiàng)；海南省地質(zhì)勘查局粉體材料工程技術(shù)研究中心以精選的結(jié)晶型石英砂為原料，成功制成球形硅微粉，產(chǎn)品適用于電子塑封材料；2005年8月，江蘇省連云港市晶瑞石英工業(yè)開(kāi)發(fā)研究院承擔(dān)的高頻等離子制備球形硅微粉關(guān)鍵技術(shù)及產(chǎn)品，通過(guò)了部級(jí)鑒定，并已建成50噸/年中試生產(chǎn)線(xiàn)，技術(shù)水平國(guó)內(nèi)領(lǐng)先，產(chǎn)品主要性能達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。

　　今年3月，連云港東海硅微粉有限責(zé)任公司承擔(dān)的微米級(jí)集成電路用化學(xué)合成球型硅微粉項(xiàng)目，通過(guò)江蘇省科技廳主持的科技成果鑒定，打破了國(guó)外在化學(xué)合成球型硅微粉領(lǐng)域的壟斷地位，技術(shù)和工藝設(shè)備達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白。7月份，中國(guó)凱盛國(guó)際工程有限公司與蚌埠玻璃工業(yè)設(shè)計(jì)研究院聯(lián)合研發(fā)的高純球形石英粉產(chǎn)品工業(yè)化制備技術(shù)及專(zhuān)用生產(chǎn)設(shè)備開(kāi)發(fā)項(xiàng)目通過(guò)鑒定，其技術(shù)、設(shè)備為國(guó)內(nèi)首創(chuàng)，產(chǎn)品的球形化率、玻璃化率和分散性等主要技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，實(shí)現(xiàn)工業(yè)化連續(xù)穩(wěn)定生產(chǎn)，并已形成450噸/年的生產(chǎn)規(guī)模，產(chǎn)品可替代進(jìn)口。

　　我國(guó)盛產(chǎn)石英，并且礦源分布較廣，全國(guó)范圍內(nèi)的大小硅微粉廠近百家，基本上都屬于鄉(xiāng)鎮(zhèn)企業(yè)。這些生產(chǎn)企業(yè)大多規(guī)模小、品種單一，采用非礦工業(yè)的常規(guī)加工設(shè)備，在工藝過(guò)程中缺乏系統(tǒng)的控制手段，致使硅微粉產(chǎn)品的純度、粒度以及產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定性差，無(wú)法與進(jìn)口產(chǎn)品抗衡。這些企業(yè)中真正能夠生產(chǎn)高純、超微硅微粉的很少，主要分布于江蘇連云港和徐州、浙江湖州以及河北、青海等地，其主打產(chǎn)品集中在600目以下，使用領(lǐng)域一般為冶金、陶瓷、電工產(chǎn)品填料以及電子分立元件的封裝等。為搶占高端市場(chǎng)，近年來(lái)國(guó)內(nèi)有眼光的企業(yè)紛紛上馬建設(shè)球形硅微粉項(xiàng)目。

　　山西長(zhǎng)治莊益通硅業(yè)有限公司的電子級(jí)球形硅微粉項(xiàng)目，屬?lài)?guó)家863重點(diǎn)科研攻關(guān)項(xiàng)目，總投資5200萬(wàn)元，今年上半年投產(chǎn)，年產(chǎn)電子級(jí)球形硅微粉1000噸；重慶錦藝硅材料開(kāi)發(fā)有限公司首期5萬(wàn)噸硅微粉項(xiàng)目今年7月1日投產(chǎn)，“十一五”期間將建成年產(chǎn)20萬(wàn)噸硅微粉、5000噸球形硅微粉、2000噸多晶硅生產(chǎn)線(xiàn)為核心項(xiàng)目的西部硅產(chǎn)業(yè)基地；黑龍江省通河縣寶通石英產(chǎn)品有限公司引進(jìn)江蘇省連云港市晶瑞石英工業(yè)開(kāi)發(fā)研究院開(kāi)發(fā)的高頻等離子制備球形硅微粉關(guān)鍵技術(shù)，總投資8700萬(wàn)元，年產(chǎn)球形硅微粉1000噸，今年8月份已完成前期準(zhǔn)備工作；江西遂川縣招商局計(jì)劃總投資逾1億元，興建高純和球形硅微粉加工廠及生產(chǎn)線(xiàn)5條，形成年產(chǎn)高純和球形硅微粉4000噸的能力；湖北荊化實(shí)業(yè)股份有限公司引進(jìn)武漢大學(xué)最新研制的低應(yīng)力環(huán)氧塑封料球形硅微粉技術(shù)，將形成4000噸/年生產(chǎn)能力。