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石英玻璃制造工藝、性能及其應(yīng)用


來源:中國粉體網(wǎng)   黑金

[導(dǎo)讀]  占領(lǐng)行業(yè)制高點(diǎn),領(lǐng)跑石英新技術(shù)。

中國粉體網(wǎng)訊  石英玻璃是眾所周知的“玻璃之王”,那你知不知道中國第一塊石英玻璃是何時(shí)誕生的?


1955年,科學(xué)技術(shù)發(fā)展遠(yuǎn)景規(guī)劃(1956-1967年),確定了國家經(jīng)濟(jì)建設(shè)和國防建設(shè)急需的57項(xiàng)重點(diǎn)科研任務(wù)。其中,第26項(xiàng)“試制新型硅酸鹽制品”和第40項(xiàng)“建立半導(dǎo)體技術(shù)”兩項(xiàng)任務(wù)書中,列入了石英玻璃的研制內(nèi)容。


當(dāng)時(shí)石英玻璃的試制任務(wù)是下達(dá)給中國建材總院的前身——國家建筑材料綜合研究所。


從此,我國開啟了石英玻璃的發(fā)展之路。


面對如此艱巨的任務(wù),中國建材總院迎難而上、排除萬難,最終于1957年成功研制出我國第一塊不透明石英玻璃,從此開啟了中國石英玻璃專業(yè)的大門。




不斷突破技術(shù)封鎖,助力高精尖技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展


1958年在不透明石英玻璃的試制基礎(chǔ)上,我國研制出第一支透明石英玻璃。


1966年,中國建材總院石英玻璃科研組經(jīng)過幾年的努力,成功制定頒發(fā)了JC 99-66、JC 100-66、JC 101-66、JC 102-66、JC 103-66等多項(xiàng)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),后經(jīng)生產(chǎn)和使用的要求,進(jìn)行了多次修訂。


1987年,航天領(lǐng)域相關(guān)單位找到中國建材總院,提出需要一款經(jīng)宇宙射線輻照不變黑并能過濾紫外線的特殊石英玻璃。時(shí)任中國建材總院國家石英玻璃質(zhì)監(jiān)中心主任的顧真安,接下了這塊難啃的“硬骨頭”。歷經(jīng)多次試驗(yàn),1993年,顧真安團(tuán)隊(duì)成功研制出耐輻照石英玻璃。


1997年,在全國石英行業(yè)只能做到直徑小于200毫米的石英玻璃的情況下,國家重點(diǎn)工程向全國發(fā)出Φ300毫米、高品質(zhì)的石英玻璃研制任務(wù)需求。


這又是一個(gè)前所未有的挑戰(zhàn)。


讓玻璃“站著”變大變長。顧真安與時(shí)任中國建材總院石英所(現(xiàn)為石英院)所長王玉芬,在上海棱光實(shí)業(yè)股份有限公司爭取到了一塊“旮旯地”,帶領(lǐng)向在奎等一批技術(shù)人員搭建起我國第一座立式沉積爐。


2001年11月,喜訊傳來——320毫米口徑、重23公斤,第一個(gè)立式化學(xué)氣相沉積工藝制備的高純石英玻璃坨研制成功!


為了進(jìn)一步提高立式化學(xué)氣相沉積合成石英玻璃的產(chǎn)品尺寸、性能和沉積效率等,實(shí)現(xiàn)節(jié)能減排,2008年開始王玉芬科研團(tuán)隊(duì)先后突破了立式雙燈、三燈等多燃燒器合成石英玻璃沉積工藝技術(shù),制備出直徑600mm口徑以上的高質(zhì)量石英玻璃砣,沉積效率由150g提高至400g以上,大大提高了沉積效率,節(jié)省了燃料等資源。


……


一次次的技術(shù)突破,助力我國高精尖技術(shù)產(chǎn)業(yè)不斷發(fā)展壯大。

 

占領(lǐng)行業(yè)制高點(diǎn),領(lǐng)跑石英新技術(shù)


高性能石英玻璃材料及制品,石英玻璃纖維和以石英玻璃纖維為基材的復(fù)合材料及制品是半導(dǎo)體、航空航天、光學(xué)、光通訊及太陽能等行業(yè)和國家相關(guān)重大工程不可或缺的重要基礎(chǔ)性材料及制品。


在半導(dǎo)體領(lǐng)域,石英玻璃材料及制品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片制程中,是半導(dǎo)體蝕刻、擴(kuò)散、氧化等工序所需的承載器件與腔體耗材。合成石英玻璃主要用于半導(dǎo)體高端制程中石英玻璃材料配套領(lǐng)域和光掩膜基板業(yè)務(wù)。


在航空航天領(lǐng)域,石英玻璃纖維和以石英玻璃纖維為基材的復(fù)合材料具有強(qiáng)度高、膨脹系數(shù)小、介電常數(shù)和介電損耗小、耐腐蝕與可設(shè)計(jì)性能好等特點(diǎn),具備優(yōu)良的耐高溫、耐燒蝕、高透波與電絕緣性能,成為廣泛應(yīng)用于航空航天與海洋裝備領(lǐng)域的功能材料。


在光學(xué)領(lǐng)域,合成石英玻璃材料具有高耐溫性、高純度、高透明性、高穩(wěn)定性、高功率承受能力以及優(yōu)異的化學(xué)特性,用作高端光學(xué)領(lǐng)域的透鏡、棱鏡、激光器以及TFT-LCD和IC用光掩膜基板。


在光通訊領(lǐng)域,石英玻璃支撐棒、把手棒是用作光通訊領(lǐng)域光纖預(yù)制棒沉積及燒結(jié)和光纖拉制中的支撐材料。


近年來,航空航天及半導(dǎo)體等產(chǎn)業(yè)發(fā)展帶動石英玻璃需求增長,同時(shí)對制備工藝提出了更高要求。


2023年11月16~17日,中國粉體網(wǎng)主辦的“2023(第七屆)全國石英大會暨展覽會”將于安徽蚌埠召開,屆時(shí)來自中國建筑材料科學(xué)研究總院石英與特種玻璃研究院的教授級高工王玉芬將作《石英玻璃制造工藝、性能及其應(yīng)用》報(bào)告。詳細(xì)講述石英玻璃的制備技術(shù)、性能以及石英玻璃在高端技術(shù)領(lǐng)域的應(yīng)用。



參考資料:

中國建材總院:從第一塊石英玻璃到高精尖突破的漫漫科研路

科技日報(bào).為航天器安上明亮的“眼睛”

粉體大數(shù)據(jù)研究.【揭秘】中國石英玻璃工業(yè)往事

菲利華2022年度報(bào)告


(中國粉體網(wǎng)編輯整理/黑金)

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作者:黑金

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