由青海大學(xué)和青海省方盛
磨料磨具公司共同承擔(dān)的《半導(dǎo)體制造用高純超細(xì)
碳化硅粉末產(chǎn)品開發(fā)》高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)化項目最近通過驗收。
這一項目采用碳化硅單結(jié)晶加工物做為粉碎介質(zhì)、應(yīng)用水流粉碎機(jī)、粉碎工程內(nèi)分級和酸堿洗凈技術(shù)，開發(fā)出了純度高、雜質(zhì)含量低的超細(xì)碳化硅微粒，并打入了國際市場。目前，這種產(chǎn)品已試生產(chǎn)了60噸，新增利潤72萬元。
驗收評審中，專家委員會認(rèn)為這個項目中的工藝路線具有創(chuàng)新性，研究總體水平達(dá)到了國內(nèi)領(lǐng)先水平，項目開發(fā)出的產(chǎn)品附加值高，成本低，具有顯著的經(jīng)濟(jì)效益、社會效益和廣闊的應(yīng)用前景。
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