中國(guó)粉體網(wǎng)訊 Ferrotec Material Technologies Corporation于12月25日在石川縣能美郡川北町的新工廠建設(shè)工地上舉行了奠基儀式。為了構(gòu)建涵蓋半導(dǎo)體制造設(shè)備用高純精細(xì)陶瓷部件的材料、加工和組裝工藝的大規(guī)模量產(chǎn)體系,該公司計(jì)劃在石川縣能美郡川北町建設(shè)石川第3工廠。
精密陶瓷零部件是采用氧化鋁、氮化鋁等先進(jìn)陶瓷經(jīng)精密加工后制備的半導(dǎo)體設(shè)備用核心零部件,具有高強(qiáng)度、耐腐蝕、高精度等優(yōu)異性能,應(yīng)用于刻蝕機(jī)、涂膠顯影機(jī)、光刻機(jī)、離子注入機(jī)等半導(dǎo)體關(guān)鍵設(shè)備中。其是最具有代表性的半導(dǎo)體精密部件材料,據(jù)相關(guān)專家介紹,陶瓷部件成本占半導(dǎo)體設(shè)備成本10%以上。
目前,石川第一工廠是易于機(jī)械加工的可切削陶瓷材料和加工的大規(guī)模生產(chǎn)工廠,主要生產(chǎn)半導(dǎo)體和液晶制造用零件、檢查夾具等。此外,石川第二工廠還作為擴(kuò)大可加工陶瓷材料的批量生產(chǎn)以及加工半導(dǎo)體制造設(shè)備用高純度精細(xì)陶瓷部件的加工廠;谑ǖ谝缓偷诙S的作用和功能,新建的石川第三工廠將成為涵蓋半導(dǎo)體制造設(shè)備用高純度精細(xì)陶瓷部件的材料、加工和組裝工藝的大規(guī)模量產(chǎn)系統(tǒng)。據(jù)介紹,第三工廠占地面積30,000平方米,計(jì)劃于2025年上半年開始運(yùn)營(yíng)。
Ferrotec Material Technologies Corporation擁有多種高純度精細(xì)陶瓷和可加工陶瓷產(chǎn)品陣容,主要供半導(dǎo)體制造設(shè)備和零部件制造商使用。鑒于半導(dǎo)體市場(chǎng)預(yù)計(jì)將在中長(zhǎng)期增長(zhǎng)的趨勢(shì),F(xiàn)errotec Material Technologies將與母公司Ferrotec Holdings一起繼續(xù)投資于研發(fā)和量產(chǎn),以擴(kuò)大產(chǎn)能。
(中國(guó)粉體網(wǎng)編輯整理/空青)
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