中國(guó)粉體網(wǎng)訊 靜電卡盤又名靜電吸盤，廣泛應(yīng)用于集成電路制造工藝中，特別是刻蝕、PVD、CVD等核心工藝中。目前普遍的靜電吸盤技術(shù)主要是以氧化鋁陶瓷或氮化鋁陶瓷作為主體材料。陶瓷材料具有良好的導(dǎo)熱性，耐磨性及高硬度且對(duì)比金屬材料在電絕緣方面有著先天的優(yōu)勢(shì)。
靜電吸盤行業(yè)的發(fā)展與半導(dǎo)體設(shè)備配套需求密切相關(guān)。近年來(lái)，隨著國(guó)家加大半導(dǎo)體領(lǐng)域的投入，我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備采購(gòu)額逐年增加，推動(dòng)了包括靜電吸盤在內(nèi)的核心部件的采購(gòu)量增長(zhǎng)。然而，我國(guó)國(guó)產(chǎn)設(shè)備及靜電吸盤等核心部件的國(guó)產(chǎn)化率仍較低，較強(qiáng)的替代需求為中國(guó)靜電吸盤廠商的發(fā)展壯大創(chuàng)造了機(jī)遇。
目前國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體靜電吸盤實(shí)力企業(yè)如下（企業(yè)不分先后）：
廣東海拓創(chuàng)新精密設(shè)備科技有限公司
海拓創(chuàng)新是一家專注半導(dǎo)體及顯示行業(yè)關(guān)鍵零部件進(jìn)行國(guó)產(chǎn)化的技術(shù)型公司，公司在國(guó)產(chǎn)化靜電卡盤及基于靜電卡盤為技術(shù)核心設(shè)備領(lǐng)域的設(shè)計(jì)、生產(chǎn)具有領(lǐng)先地位。目前海拓創(chuàng)新在靜電吸盤方面已經(jīng)實(shí)現(xiàn)商業(yè)化生產(chǎn)，已經(jīng)完成了4寸至12寸半導(dǎo)體FAB靜電卡盤交付實(shí)績(jī)，尤其是在第三代化合物半導(dǎo)體方面，已實(shí)現(xiàn)規(guī)�；桓�。
北京華卓精科科技股份有限公司
華卓精科成立于2012年，公司自主研發(fā)的靜電吸盤符合半導(dǎo)體行業(yè)相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)和加工，前期所開發(fā)的12英寸PVD氮化鋁靜電吸盤，在一定程度上破除了國(guó)外廠商在該產(chǎn)品領(lǐng)域內(nèi)的長(zhǎng)期壟斷局面。目前華卓精科已將靜電吸盤相關(guān)技術(shù)應(yīng)用于產(chǎn)品生產(chǎn)并形成了小批量量產(chǎn)，并可為客戶提供定制化的產(chǎn)品。
蘇州珂瑪材料科技股份有限公司
蘇州珂瑪成立于2009年，專業(yè)從事先進(jìn)陶瓷材料零部件的研發(fā)、制造、銷售、服務(wù)以及泛半導(dǎo)體設(shè)備表面處理服務(wù)等。蘇州珂瑪重點(diǎn)投入研發(fā)陶瓷加熱器、靜電卡盤和超高純碳化硅套件，陶瓷加熱器、靜電卡盤已試產(chǎn)樣品，公司多個(gè)型號(hào)樣品處于客戶驗(yàn)證階段。
浙江新納材料科技股份有限公司
新納材料成立于1994年，其研發(fā)的靜電吸盤產(chǎn)品，其性能指標(biāo)已可滿足芯片制造企業(yè)需求，具有溫度可控、吸附力均勻、吸附無(wú)傷痕皺紋及無(wú)晶片邊緣排除效應(yīng)等突出性能，已通過下游國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)龍頭企業(yè)長(zhǎng)江存儲(chǔ)、士蘭微、北方華創(chuàng)等客戶認(rèn)證并實(shí)現(xiàn)銷售，打破了國(guó)外廠商在該產(chǎn)品領(lǐng)域內(nèi)的壟斷局面。同時(shí)其自主研發(fā)的半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備用大尺寸氧化鋁陶瓷（靜電吸盤）被浙江省經(jīng)濟(jì)和信息化廳認(rèn)定為浙江省首臺(tái)（套）產(chǎn)品。
河北中瓷電子科技股份有限公司
中瓷電子成立于2006年，是專業(yè)從事電子陶瓷系列產(chǎn)品研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的高新技術(shù)企業(yè)。2022年公司布局精密陶瓷零部件領(lǐng)域，實(shí)現(xiàn)加熱盤和靜電卡盤等技術(shù)難度高的精密零部件國(guó)產(chǎn)化，中瓷電子開發(fā)的陶瓷加熱盤產(chǎn)品核心技術(shù)指標(biāo)已達(dá)到國(guó)際同類產(chǎn)品水平并通過用戶驗(yàn)證，已批量應(yīng)用于國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體關(guān)鍵設(shè)備中。陶瓷加熱盤已實(shí)現(xiàn)批量出貨，靜電卡盤已送樣測(cè)試。
君原電子科技（海寧）有限公司
君原電子成立于2020年，公司是由中國(guó)大陸、臺(tái)灣、韓國(guó)和日本等地的集成電路資深人士聯(lián)合創(chuàng)立的半導(dǎo)體材料和零部件生產(chǎn)企業(yè)，是目前國(guó)內(nèi)第一家實(shí)現(xiàn)規(guī)模化生產(chǎn)半導(dǎo)體靜電吸盤的公司。公司產(chǎn)品線實(shí)現(xiàn)對(duì)14nm（及以上）的主要刻蝕機(jī)臺(tái)靜電吸盤產(chǎn)品的全覆蓋，產(chǎn)品已經(jīng)在國(guó)內(nèi)12寸和8寸集成電路領(lǐng)域企業(yè)中會(huì)獲得應(yīng)用。
瑞耕科技股份有限公司
瑞耕科技成立于1998年，是半導(dǎo)體業(yè)界的關(guān)鍵零組件、制程設(shè)備及靜電吸盤的領(lǐng)先供應(yīng)商。瑞耘科技設(shè)計(jì)與制造的陶瓷靜電吸盤產(chǎn)品，可應(yīng)用于真空系統(tǒng)中保持半導(dǎo)體和非導(dǎo)體(硅晶圓、玻璃)基板的吸附。2012年瑞耕科技成功開發(fā)出陶瓷靜電吸盤（ESC）；2014年陶瓷靜電吸盤產(chǎn)品及濕式晶圓蝕刻機(jī)(SAT)、濕式去光阻機(jī)(SST)量產(chǎn)建立。
中山市思考電子科技有限公司
思考電子2007年開始專注從事半導(dǎo)體晶圓劃片刀、微孔陶瓷真空吸盤、ESC靜電卡盤，CVD/PVD靜電卡盤，固晶機(jī)吸嘴（電木吸嘴、橡膠吸嘴、鎢鋼吸嘴）等半導(dǎo)體半導(dǎo)體耗材經(jīng)驗(yàn)。2012年開始自主研發(fā)氮化鋁加熱器、ESC靜電吸盤項(xiàng)目，2022年靜電卡盤事業(yè)部已掌握氮化鋁陶瓷高溫共燒技術(shù)，氮化鋁加熱器已面市，ESC靜電吸盤已進(jìn)入裝配測(cè)試階段。目前氮化鋁靜電卡盤開始靜態(tài)裝備測(cè)試，預(yù)計(jì)2024年第一季度會(huì)做出成品。
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（中國(guó)粉體網(wǎng)編輯整理/空青）
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