中國粉體網(wǎng)訊 王守武,中國半導(dǎo)體科學(xué)奠基人之一,半導(dǎo)體器件物理學(xué)家,中科院院士。他組織籌建了中國第一個半導(dǎo)體研究室和全國半導(dǎo)體測試中心;創(chuàng)建了中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所和微電子研究所;在研究與開拓中國半導(dǎo)體材料、半導(dǎo)體器件、光電子器件及大規(guī)模集成電路等方面開創(chuàng)了我國很多個“第一”,做出了重要貢獻,被人們譽為我國半導(dǎo)體研究的“拓荒者”。
出身名門的“大王先生”
1919年3月15日,王守武出生于江蘇蘇州的書香世家。祖父王頌蔚是晚清歷史學(xué)家、文學(xué)家,祖母王謝長達(dá)是創(chuàng)辦振華女校的著名女權(quán)運動先驅(qū),父親王季同先生是最早在國際學(xué)術(shù)刊物上發(fā)表現(xiàn)代數(shù)學(xué)論文的中國學(xué)者,在機械工程和數(shù)學(xué)方面有很高的造詣。
在長輩的影響下,王家家族中涌現(xiàn)出一批科技精英。
大哥王守競,和周培源、吳大猷是中國最早的3位理論物理博士,抗戰(zhàn)時創(chuàng)辦中央機器廠,是中國機械工業(yè)奠基人之一。
二哥王守融是我國精密機械與儀表儀器學(xué)科開拓者之一。
大姐王淑貞是我國婦產(chǎn)科學(xué)奠基人之一,與林巧稚齊名,有“南王北林”之譽。
二姐王明貞是中國最早的女物理學(xué)家之一,也是清華大學(xué)第一位女教授,其所著論文《關(guān)于布朗運動的理論Ⅱ》是世界經(jīng)典。
弟弟王守覺,是著名半導(dǎo)體電子學(xué)家,中國科學(xué)院院士。為了和王守武區(qū)分,同事和學(xué)生親切地稱王守武為“大王先生”,稱王守覺為“小王先生”。
努力救國,努力富國,努力強國
王守武自小受父親的影響很大,父親王季同作為最早在國際學(xué)術(shù)刊物上發(fā)表現(xiàn)代數(shù)學(xué)論文的中國學(xué)者,其機械工程和數(shù)學(xué)方面的造詣很高。父親曾為他講述如何求圓周率π,如何利用手搖計算機計算自然對數(shù)的底e ,如何繞制變壓器、連接電路、制作電磁鐵等。
在那個懵懂的童年,科學(xué)的種子正悄然深埋進王守武的心中。但那個時候,也正是舉國動蕩、時局紛爭,國家存亡和民族大義不時地叩敲著他幼小的心靈。
1930年,年僅11歲的王守武在《民智》報上發(fā)表文章:“諸位朋友,你們要救中國。你們要做中國的人。一定要大家盡責(zé),大家負(fù)責(zé)。愿大家努力讀書,努力前進。還愿將來努力救國,努力富國,努力強國。”
1950年1月,在美國普渡大學(xué)任教的王守武受留美科協(xié)的感召決定回國,為剛解放不久的新中國做一點貢獻。然而這一年朝鮮戰(zhàn)爭爆發(fā),杜魯門當(dāng)局對中國留學(xué)生回國百般阻撓,王守武只得以回鄉(xiāng)探望年事已高的寡母為由,通過印度駐美使館協(xié)助由香港入深圳,曲線回國。
1950年,王守武進入中國科學(xué)院應(yīng)用物理研究所工作,參與一項“為在抗美援朝前線的志愿軍運輸隊設(shè)計一種特殊的車燈和路標(biāo)”的任務(wù),使部隊可以在夜間行車而不被發(fā)現(xiàn)。1951年5月,他接受了設(shè)計太陽灶的任務(wù),以解決藏民生活燃料稀缺的問題,設(shè)計制作成功后,用它可以在15分鐘內(nèi)把一壺水燒開。這種太陽灶,至今還在青藏高原發(fā)揮它的作用。而后他教授《理論力學(xué)》,并開展了氧化亞銅整流器等研究。
踏上開拓半導(dǎo)體科學(xué)事業(yè)的新征程
此后,王守武開始領(lǐng)導(dǎo)應(yīng)用物理所電學(xué)組開展半導(dǎo)體研究。他很快意識到晶體管發(fā)明帶來的信息技術(shù)變化的重大意義,并在電學(xué)組1956年工作計劃中指出:“半導(dǎo)體放大器的進一步發(fā)展將全面地革新電子學(xué)設(shè)備的面貌,在國民經(jīng)濟上的意義極為重大!
在我國制定的“1956—1967年國家十二年科學(xué)技術(shù)發(fā)展遠(yuǎn)景規(guī)劃”中,半導(dǎo)體科學(xué)技術(shù)被中科院列為四大緊急措施之一。中科院半導(dǎo)體研究室隨后成立,由王守武擔(dān)任主任。1957年,王守武親手設(shè)計了我國第一臺拉制半導(dǎo)體鍺材料的單晶爐,并于11月領(lǐng)導(dǎo)拉制成功我國首根鍺單晶。
1958年,王守武創(chuàng)建了我國最早的一家生產(chǎn)晶體管的工廠——中國科學(xué)院109工廠,從事鍺高頻晶體管的批量生產(chǎn)。1960年,王守武又受命籌建中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所,并擔(dān)任副所長,負(fù)責(zé)全所的科研業(yè)務(wù)管理和開拓分支學(xué)科等工作。
1962年,美國制成砷化鎵半導(dǎo)體激光器,應(yīng)用前景廣泛。
1963年,王守武組建了半導(dǎo)體激光器研究室,先后領(lǐng)導(dǎo)并參與了中國第一臺半導(dǎo)體激光器的研制,實現(xiàn)半導(dǎo)體激光器的連續(xù)激射,并開展半導(dǎo)體負(fù)阻激光器以及激光應(yīng)用的研究工作,為我國在這個領(lǐng)域的技術(shù)進步奠定了基礎(chǔ)。
1978年,王守武受命兼任中科院109廠廠長,負(fù)責(zé)領(lǐng)導(dǎo)4000位MOS隨機存儲器大規(guī)模集成電路的研究工作。這是一項難度甚高的研究工作,而且于科技、國防、經(jīng)濟發(fā)展意義重大。王守武立刻一頭扎進實驗室中,對四十道工藝進行設(shè)計、創(chuàng)新。他要求各工序的負(fù)責(zé)人,明確工作流程,嚴(yán)格執(zhí)行,力求工藝質(zhì)量的穩(wěn)定。由于實驗條件的落后,他也對實驗所用的儀器設(shè)備和基礎(chǔ)材料進行檢修、改造和測試,使之穩(wěn)定可靠,達(dá)到所需的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)。
1979年9月,經(jīng)過王守武和同事們的不懈努力,大規(guī)模集成電路樣品的成品率提高到了20%-40%,是當(dāng)時國內(nèi)大規(guī)模集成電路研制中的最高水平。此后,他繼續(xù)參與領(lǐng)導(dǎo)了集成電路大生產(chǎn)試驗,從大規(guī)模集成電路實驗室制備工藝探索,到工業(yè)生產(chǎn)中試線的安裝、調(diào)試和生產(chǎn),寒來暑往十多個春秋。
科研精神永遠(yuǎn)傳承
王守武先生淵博的學(xué)識、超人的動手能力、謙遜的性格得到了國內(nèi)外廣大學(xué)者的尊重。另外,他用心培養(yǎng)科技隊伍,先后在清華大學(xué)、北京大學(xué)、中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)等多所高校任教,為祖國的半導(dǎo)體領(lǐng)域、微電子領(lǐng)域培養(yǎng)了一批又一批的人才,很多他的學(xué)生已成為行業(yè)領(lǐng)域的棟梁之才。
臨終時,節(jié)約簡樸了一輩子的王守武“大大地花了一筆錢”:捐出所有存款,用設(shè)立王守武獎學(xué)金,專門獎勵中國科學(xué)院微電子研究所和半導(dǎo)體所優(yōu)秀的研究生。2020年,王守武家人繼續(xù)捐贈,設(shè)立王守武科教發(fā)展基金,主要用于支持中國科學(xué)院大學(xué)集成電路學(xué)院科教融合事業(yè)發(fā)展。
作為我國半導(dǎo)體科學(xué)技術(shù)事業(yè)的重要開拓者和奠基人之一,王守武在幾十年的科研生涯中,始終把國家的需要放在第一位,把發(fā)展中國半導(dǎo)體科學(xué)事業(yè)視為己任,兢兢業(yè)業(yè)為之奮斗了一生。他用正直的品德、嚴(yán)謹(jǐn)?shù)淖黠L(fēng)以及對科研事業(yè)無比的熱愛,激勵著年輕人奮斗拼搏,也鼓舞著后來人沿著他的足跡大步前行。
參考來源:
中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所.拳拳報國心 一生執(zhí)著為創(chuàng)“芯”
全景科學(xué)家.王守武院士:執(zhí)著創(chuàng)“芯”六十年,研制出中國半導(dǎo)體的一系列第一
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中科院之聲.我國半導(dǎo)體研究的“拓荒者”——王守武院士誕辰100周年丨科學(xué)史
中國科學(xué)報:王守武:為中國半導(dǎo)體奠基的“大王先生”
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