中國粉體網(wǎng)訊   近年來，國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展，頭部企業(yè)紛紛跑馬圈地，成為各地爭搶的“香餑餑”。湖北荊州也加速搶占新賽道，各企業(yè)依靠科技創(chuàng)新后發(fā)趕超，接連攻克半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)“卡脖子”技術(shù)，助力荊州半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)加速聚鏈成群，一批半導(dǎo)體材料項(xiàng)目正快速崛起。

那么，湖北荊州的各企業(yè)是如何串起半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的？

2023年，由先導(dǎo)科技集團(tuán)投資的湖北先導(dǎo)電子信息產(chǎn)業(yè)園落戶荊州，先導(dǎo)科技集團(tuán)是一家專業(yè)從事稀散金屬及其高端材料研發(fā)生產(chǎn)的高新技術(shù)企業(yè)，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、光通訊等領(lǐng)域。產(chǎn)業(yè)園共投資200億，計(jì)劃建設(shè)集成電路關(guān)鍵材料、稀散金屬回收加工、新一代半導(dǎo)體材料、太陽能電池及創(chuàng)新研究院等項(xiàng)目。

光掩膜石英玻璃基板

光掩膜技術(shù)作為半導(dǎo)體技術(shù)中的重要組成部分，其制作材料包含玻璃基板、鍍鉻膜層、光刻膠、光學(xué)膜等，其中玻璃基板為主要的原材料。玻璃基板多使用石英玻璃基板和鈉鈣玻璃基板，石英玻璃基板的主體為石英玻璃，其光學(xué)透過率高，熱膨脹率低，光譜特性優(yōu)良，相比鈉鈣玻璃具有更高的硬度和更長的使用壽命，適用于高精度光掩膜基板的制造。因此，石英玻璃在光掩膜基板的材料選擇中更具備優(yōu)勢，且市場需求逐年遞增。

湖北菲利華石英玻璃股份有限公司現(xiàn)為國內(nèi)外具有較大影響力和規(guī)模優(yōu)勢的石英材料及石英纖維制造企業(yè)。經(jīng)過多年研發(fā)，湖北菲利華石英玻璃股份有限公司積極開拓光掩膜基板新領(lǐng)域。公司獨(dú)家研發(fā)生產(chǎn)G8.5代光掩膜基板之后，又于2022年研發(fā)了G10.5代，現(xiàn)在已具備從G4.5代至G10.5代全規(guī)格生產(chǎn)能力，為平面顯示器國產(chǎn)化進(jìn)程提供了良好的材料支撐。

濕電子化學(xué)品

濕電子化學(xué)品（簡稱濕化學(xué)品），國際上統(tǒng)稱工藝化學(xué)品，是微電子、光電子濕法工藝制程（主要包括濕法清洗、顯影、蝕刻、電鍍等）中使用的各種液體化工材料的總稱。濕化學(xué)品制造環(huán)節(jié)處于產(chǎn)業(yè)鏈中游，上游主要依托基礎(chǔ)化工原料，下游為半導(dǎo)體芯片、新型顯示面板和太陽能電池片等元器件，及其消費(fèi)電子、車載電子、網(wǎng)絡(luò)通信、航空航天等領(lǐng)域終端產(chǎn)品。

2023年7月，聯(lián)仕（湖北）新材料有限公司正式投產(chǎn)，主要從事超凈高純濕電子化學(xué)品的研發(fā)、生產(chǎn)提純和銷售，成功突破了關(guān)鍵材料“卡脖子”難題，產(chǎn)品工藝處于行業(yè)領(lǐng)先地位，主要產(chǎn)品能滿足國內(nèi)最尖端半導(dǎo)體制程使用標(biāo)準(zhǔn)，客戶涵蓋臺積電、中芯國際等全球前十集成電路企業(yè)及國內(nèi)知名集成電路企業(yè)。

電子特種氣體

在半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)過程中，從芯片制造到最后器件封裝，幾乎每一個環(huán)節(jié)都離不開電子特氣，業(yè)內(nèi)將電子特氣稱為半導(dǎo)體制程的“血液”。具體到集成電路領(lǐng)域，電子特氣應(yīng)用的種類超過110種，用于光刻、刻蝕、清洗等工藝環(huán)節(jié)，本身是半導(dǎo)體行業(yè)必需的支撐性材料。半導(dǎo)體行業(yè)對于氣源及其供應(yīng)系統(tǒng)有著嚴(yán)苛的要求，電子氣體的深度提純難度大，而純度是氣體質(zhì)量最重要的指標(biāo)。在芯片加工過程中，微小的氣體純凈度差異將導(dǎo)致整個產(chǎn)品性能的降低甚至報廢。近年來，隨著國內(nèi)半導(dǎo)體、面板、光伏等投資和國產(chǎn)化加速，市場對電子特氣產(chǎn)品的需求越來越大。

來源：荊州發(fā)布

太和氣體專注于高純半導(dǎo)體特氣領(lǐng)域，在國內(nèi)率先自主研發(fā)生產(chǎn)高純氯、氯化氫、乙硼烷、溴化氫等拳頭產(chǎn)品，生產(chǎn)工藝技術(shù)和品質(zhì)均達(dá)到國際先進(jìn)水平，多項(xiàng)產(chǎn)品填補(bǔ)國內(nèi)空白。目前，太和氣體已擁有25項(xiàng)電子特氣核心技術(shù)專利，入選國家級專精特新“小巨人”企業(yè)，建成半導(dǎo)體電子特種氣體湖北省工程研究中心等研發(fā)平臺。成為國內(nèi)高純氯、氯化氫和乙硼烷電子特氣品種名列前茅的制造商，產(chǎn)品進(jìn)入臺積電、三星電子、京東方、中芯國際等國際知名半導(dǎo)體供應(yīng)鏈。

高純半導(dǎo)體金屬材料

高純金屬應(yīng)用于多環(huán)節(jié)，是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)。從半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)環(huán)節(jié)來看，高純金屬主要應(yīng)用于摻雜、襯底、外延和靶材四大環(huán)節(jié)；從金屬種類來看，涉及鍺、鎵、銦、碲、鎘、銻、鉍等多種材料。在第一代硅基半導(dǎo)體的硅片制造過程中可摻雜6N5 Al；化合物半導(dǎo)體的GaAs、InP、GaN、CdTe等本身的襯底及外延片的生產(chǎn)過程中，便需要7N5 Ga、7N In、7N Cd、7N Te等作為初始原材料；而像晶圓制造、液晶顯示等領(lǐng)域的半導(dǎo)體靶材同樣需要Pd、Ti、In、Sn等高純金屬材料。

武漢拓材科技有限公司是一家專注于研發(fā)、生產(chǎn)、銷售高純（超純）金屬/半導(dǎo)體材料的高新技術(shù)企業(yè)，依托武漢理工大學(xué)材料復(fù)合新技術(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室的技術(shù)和人才優(yōu)勢，從事超高純半導(dǎo)體及特種功能材料技術(shù)。2023年9月開工的拓材科技年產(chǎn)1000噸高純半導(dǎo)體材料項(xiàng)目，計(jì)劃在荊州建設(shè)高純半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)基地和國家級高純材料工程研發(fā)技術(shù)中心。

半導(dǎo)體金剛石

湖北瑞華科技有限公司項(xiàng)目一期主要采取微波等離子體化學(xué)氣相沉積法工藝，批量生長大尺寸金剛石；項(xiàng)目二期主要以半導(dǎo)體與研發(fā)功能性人造金剛石生產(chǎn)技術(shù)及產(chǎn)業(yè)化。

單晶金剛石具有超寬的禁帶寬度、低的介電常數(shù)、高的擊穿電壓、高的本征電子和空穴遷移率，以及優(yōu)越的抗輻射性能，是已知的最優(yōu)秀的寬禁帶高溫半導(dǎo)體材料。相比常規(guī)的半導(dǎo)體材料硅，金剛石優(yōu)異的熱導(dǎo)率能夠及時散發(fā)電路運(yùn)轉(zhuǎn)過程中的熱量，從而極大地提高精密儀器的運(yùn)行功率，避免熱量聚集引起的各類電子器件損壞。另外，金剛石的飽和載流子速度優(yōu)于其他的半導(dǎo)體材料，高的電子遷移率及極高的擊穿電場使其成為高頻半導(dǎo)體器件的理想襯底材料。

高純半導(dǎo)體薄膜前驅(qū)體

來源：安德科銘

2024年1月，安德科銘半導(dǎo)體科技有限公司落戶荊州，投資10億元建設(shè)高純半導(dǎo)體薄膜前驅(qū)體生產(chǎn)基地。半導(dǎo)體前驅(qū)體材料主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造中的薄膜沉積工藝，是薄膜沉積工藝的核心材料，是晶圓制造工藝的“前驅(qū)體”。半導(dǎo)體前驅(qū)體是ALD和CVD薄膜沉積工藝的核心材料，是用于形成符合半導(dǎo)體制造要求的各類薄膜層的核心原材料。作為集成電路材料的細(xì)分產(chǎn)品，具有研發(fā)投入大、制備工藝難度及純度要求高、客戶認(rèn)證周期長等特點(diǎn)，具備極高的準(zhǔn)入門檻，是衡量集成電路材料制備水平的標(biāo)志性產(chǎn)品之一。 

就這樣，荊州經(jīng)形成了以菲利華為代表的光掩模基板產(chǎn)業(yè)，以太和氣體為代表的電子特氣產(chǎn)業(yè)，以聯(lián)仕新材料為代表的濕電子化學(xué)品產(chǎn)業(yè)，以先導(dǎo)稀材、拓材科技為代表的高純半導(dǎo)體金屬材料產(chǎn)業(yè)，以湖北瑞華為代表的半導(dǎo)體金剛石產(chǎn)業(yè)等細(xì)分領(lǐng)域，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群效應(yīng)顯現(xiàn)。

參考來源：

湖北日報.頭部企業(yè)紛紛搶灘，荊州半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)加速聚鏈成群——“芯”賽道跑出“荊”動能

荊州日報.破題起勢！半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展正當(dāng)時

陳婭麗.光掩膜石英玻璃基板的制造工藝概述

楊亮亮等.中國濕電子化學(xué)品發(fā)展現(xiàn)狀與展望

電腦報.電子特種氣體何時才能不被卡脖子？

劉俊杰.半導(dǎo)體用大尺寸單晶金剛石襯底制備及加工研究現(xiàn)狀

思瀚產(chǎn)業(yè)研究院.先進(jìn)前驅(qū)體材料行業(yè)整體競爭格局及市場集中情況

（中國粉體網(wǎng)編輯整理/初末）

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