中國(guó)粉體網(wǎng)訊  半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)幾乎關(guān)系到當(dāng)今數(shù)字化時(shí)代所有與電子相關(guān)的領(lǐng)域，是對(duì)國(guó)民經(jīng)濟(jì)極其重要的戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)。我國(guó)的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)仍存在嚴(yán)峻的安全問(wèn)題。實(shí)現(xiàn)精密陶瓷零部件的國(guó)產(chǎn)化替代是保障我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)供應(yīng)鏈安全穩(wěn)定與自主可控的重要環(huán)節(jié)。

第三屆半導(dǎo)體行業(yè)用陶瓷材料技術(shù)研討會(huì)將于 2024年4月25-26日在蘇州舉辦。上海皓越真空設(shè)備有限公司作為參展單位邀請(qǐng)您共同出席。

上海皓越真空設(shè)備有限公司，簡(jiǎn)稱(chēng)“皓越科技”，創(chuàng)立于2009年，是一家集研發(fā)、設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售為一體的國(guó)家級(jí)高新技術(shù)企業(yè)；產(chǎn)品涵蓋先進(jìn)陶瓷及復(fù)合材料設(shè)備、半導(dǎo)體材料設(shè)備、鋰電材料及新能源設(shè)備三大領(lǐng)域。

目前，公司擁有7000㎡現(xiàn)代化標(biāo)準(zhǔn)廠房、成套的加工設(shè)備、完善的質(zhì)量管理體系，同時(shí)擁有先進(jìn)的500㎡設(shè)備展廳以及超過(guò) 1500㎡的熱處理研發(fā)中心實(shí)驗(yàn)室，實(shí)驗(yàn)室不僅可供公司內(nèi)部科研探索，同時(shí)也可供外部高校、科研所、企業(yè)等做實(shí)驗(yàn)研發(fā)。

產(chǎn)品介紹

1、S2放電等離子燒結(jié)系統(tǒng)

設(shè)備簡(jiǎn)介

SPS（Spark Plasma Sintering）放電等離子燒結(jié)系統(tǒng)是當(dāng)今世界上最先進(jìn)的燒結(jié)系統(tǒng)之一，是在兩電極間施加脈沖電流和軸向壓力進(jìn)行粉末燒結(jié)致密化的一種新型快速燒結(jié)技術(shù)。它具有升溫速度快、燒結(jié)時(shí)間短、組織結(jié)構(gòu)可控、節(jié)能環(huán)保等鮮明特點(diǎn)，可用來(lái)制備金屬材料、陶瓷材料、復(fù)合材料，也可用來(lái)制備納米塊體材 料、非晶塊體材料、梯度材料等。

應(yīng)用領(lǐng)域

1.金屬：Fe、Cu、Al、Au、Ag、Ni、Cr、Mo、Sn、Ti、W、Be;

2.陶瓷氧化物：Al2O3、Mulitex ZrO2、Mg、SiO2、TiO、HfO2;

3.碳化物：SiC、B4C、TaC、WC, ZrC, VC;

4.氮化物：Si3N4、TaN、 TiN、 AIN、 ZrN、VN;

5.硼化物：TiB2、HfB2、LaB6、ZrB2、VB2;

6.氟化物:LiF、CaF2、MgF2;

7.金屬陶瓷：Si3N4+Ni、Al2O3+Ni、ZrO2+Ni、Al2O3+Ti、SUS+WC/Co、BN+Fe、WC+Co +Fe ；

8.金屬化合物：TiAl、MoSi2、Si3Zr5、NiAl、NbCo、NbAl   Sm2Co17。

設(shè)備特點(diǎn)

由于SPS過(guò)程中施加直流脈沖電流產(chǎn)生放電效應(yīng)而帶來(lái)的一些特有現(xiàn)象，有以下幾個(gè)特點(diǎn)：

1)可以快速升溫，快速冷卻，大幅縮短生產(chǎn)時(shí)間，降低生產(chǎn)成本（升溫速率可達(dá)200℃/min）；

2)燒結(jié)溫度低（與熱壓燒結(jié)相比，燒結(jié)溫度可進(jìn)一步降低）；

3)具有獨(dú)特的凈化、活化效應(yīng)（消除粉末顆粒表面吸附氣體，擊穿氧化膜），輕松實(shí)現(xiàn)難燒結(jié)材料、多元素材料的燒結(jié)；

4)相比于傳統(tǒng)燒結(jié)工藝，可以在更短的時(shí)間內(nèi)得到組織性質(zhì)更均勻、更致密、晶粒尺寸更小的材料；

5)采用我司專(zhuān)業(yè)直流脈沖電源技術(shù)，具有燒結(jié)速度快、穩(wěn)定可靠，節(jié)能效果好；

6)壓力精度高：采用伺服壓力控制系統(tǒng)，壓力精度為 ±3‰；

7)安全性能好：采用 PLC+HMI+PID程序控制，安全可靠；

8)密封性能好：動(dòng)態(tài)壓頭均采用波紋管密封，確保不漏氣。

2、P2熱壓爐

設(shè)備簡(jiǎn)介

真空熱壓爐是在真空（或其它氣氛）條件下將材料熱壓成型的成套設(shè)備，主要采用石墨電阻式加熱，由油缸驅(qū)動(dòng)的壓頭上下加壓。在高溫下，物料生坯固體顆粒的相互鍵聯(lián)，晶粒長(zhǎng)大，空隙（氣孔）和晶界漸趨減少，通過(guò)物質(zhì)的傳遞，其總體積收縮，密度增加，最后成為具有某種顯微結(jié)構(gòu)的致密多晶燒結(jié)體，從而將物料壓制成形。

應(yīng)用領(lǐng)域

適用于氧化鈮、碳化硅、碳化硼、氮化硼等陶瓷材料等石墨烯碳纖維、高溫合金金屬粉體材料的高溫加壓燒結(jié)成形及增密粉末冶金、功能陶瓷等新材料的高溫?zé)岢尚�，也可用于粉�?或壓坯在低于主要組分熔點(diǎn)的溫度下的熱處理，目的在于通過(guò)顆粒間的冶金結(jié)合以提高其強(qiáng)度。

技術(shù)特點(diǎn)

1)采用臥式、側(cè)開(kāi)門(mén)結(jié)構(gòu)：裝、卸模具精度高，操作方便；

2)升溫快：升溫速率1~15℃/分鐘（≤1600℃），升溫速率1~5℃/分鐘（＞1600℃）；

3)溫度均勻性好：平均溫度均勻性為±5℃（5點(diǎn)測(cè)溫，恒溫區(qū)1000℃保溫1h后檢測(cè)）；

4)壓力精度高：采用液壓控制系統(tǒng)，壓力精度為≤±3‰；

5)采用多溫區(qū)控制：預(yù)留兩個(gè)測(cè)溫孔，以便高溫監(jiān)測(cè)使用；

6)安全性能好：采用HMI+PLC+PID程序控溫，安全可靠；

7)密封性能好：動(dòng)態(tài)壓頭均采用波紋管密封，確保不漏氣。

3、真空爐

設(shè)備簡(jiǎn)介

該真空爐是用石墨/鉬/鎢/感應(yīng)作發(fā)熱元件的真空爐，主要應(yīng)用于陶瓷、硬質(zhì)合金、復(fù)合材料等在真空或保護(hù)氣氛中高溫?zé)�結(jié)或退火等熱處理，也可以供金屬材料在高真空條件下的高溫?zé)崽幚砘蛸F金屬材料的除氣處理。

應(yīng)用領(lǐng)域

如炭/炭剎車(chē)盤(pán)、炭炭板材、熱壓模具、高溫發(fā)熱體/緊固件、熱場(chǎng)材料石墨制品、碳紙、碳布、石墨烯、碳納米管、導(dǎo)熱膜等。

技術(shù)特點(diǎn)

1.采用臥式、側(cè)開(kāi)門(mén)結(jié)構(gòu)：裝卸物料，操作方便；

2.升溫快：升溫速率1~10℃/分鐘(≤1600℃)，升溫速率1~5℃/分鐘(＞1600℃)；

3.設(shè)計(jì)優(yōu)化好：加熱室熱場(chǎng)經(jīng)熱態(tài)模擬計(jì)算，具有非常高的溫度均勻性、配置的加熱元件及隔熱層采用模塊化優(yōu)化設(shè)計(jì)；

4.采用多溫區(qū)控制：預(yù)留多個(gè)測(cè)溫孔，以便高溫監(jiān)測(cè)使用；

5.溫度均勻性好：平均溫度均勻性為±5℃（5點(diǎn)測(cè)溫，恒溫區(qū)1000℃保溫1h后檢測(cè)）；

4、G2氣壓爐

設(shè)備簡(jiǎn)介

本產(chǎn)品為周期作業(yè)式，加壓燒結(jié)爐系列集真空脫蠟、真空燒結(jié)、 分壓燒結(jié)、加壓燒結(jié)、氣氛控制、冷卻等功能于一體。

為了滿足不同的工藝要求，可以實(shí)現(xiàn)在不同壓力和溫度下導(dǎo)入 Ar、H2、CH4、 N2 等氣體或氣體組合。

立式裝料設(shè)計(jì)，使裝卸與維修工作更為簡(jiǎn)便。整個(gè)工藝過(guò)程自動(dòng)控制。

應(yīng)用領(lǐng)域

在高氣壓保護(hù)氣氛條件下對(duì)陶瓷（如碳化硅、氧化鋯、氧化鋁、氮化硅等）及金屬材料（如硬質(zhì)合金）等進(jìn)行熱等靜壓燒結(jié)處理，同時(shí)也適用大專(zhuān)院校、科研單位進(jìn)行中試批量生產(chǎn)用。適用于氮化硅陶瓷球、陶瓷刀具等材料在高壓氮?dú)饣驓鍤鈿夥諆?nèi)進(jìn)行燒結(jié)。有利于增加材料的燒結(jié)密度，提高材料的機(jī)械性能。

技術(shù)特點(diǎn)

1.立式設(shè)計(jì)，使裝卸與維修工作更為簡(jiǎn)便，整個(gè)工藝過(guò)程自動(dòng)控制；

2.溫度均勻性好：采用特殊的爐膽結(jié)構(gòu)和加熱器布置，爐溫均勻性好；

3.脫脂效果好：采用特殊結(jié)構(gòu)脫脂箱，密封效果好，脫脂完全對(duì)爐內(nèi)元件無(wú)污染；

4.功能多：具備真空燒結(jié)、壓力燒結(jié)、脫脂等功能；

5.設(shè)計(jì)優(yōu)化好：加熱室熱場(chǎng)經(jīng)熱態(tài)模擬計(jì)算，具有非常高的溫度均勻性、配置的加熱元件及隔熱層采用模塊化優(yōu)化設(shè)計(jì)；

6.安全性高：具有超溫超壓等故障報(bào)警，機(jī)械式自動(dòng)壓力保護(hù)，動(dòng)作互鎖等功能，設(shè)備安全性高；

7.設(shè)備可選擇配置脫脂系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)陶瓷制品的脫脂燒結(jié)一次性處理。

5、皓越科技2024年新品推出：G2GR20/P/1多功能一體爐

設(shè)備特點(diǎn)：此設(shè)備有著熱壓燒結(jié)、氣壓燒結(jié)、真空燒結(jié)等三大燒結(jié)工藝為一體的多功能爐（一臺(tái)設(shè)備可替代熱壓爐、氣壓爐、真空爐三臺(tái)設(shè)備）

敬請(qǐng)期待！