中國(guó)粉體網(wǎng)訊 在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中，以先進(jìn)陶瓷為代表的關(guān)鍵零部件是支撐半導(dǎo)體設(shè)備實(shí)現(xiàn)先進(jìn)制造的重要載體，也是目前國(guó)產(chǎn)化替代的重要領(lǐng)域。同時(shí)，以碳化硅為代表的第三代半導(dǎo)體材料已展現(xiàn)出極其重要的戰(zhàn)略性應(yīng)用價(jià)值，其中碳化硅單晶制備占據(jù)價(jià)值鏈最核心位置。4月25日，由中國(guó)粉體網(wǎng)主辦的“第三屆半導(dǎo)體行業(yè)用陶瓷材料技術(shù)研討會(huì)暨第三代半導(dǎo)體SiC晶體生長(zhǎng)技術(shù)交流會(huì)”在江蘇蘇州隆重開(kāi)幕，會(huì)議期間，我們邀請(qǐng)到眾多專(zhuān)家學(xué)者做客“對(duì)話(huà)”欄目，圍繞先進(jìn)陶瓷在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用研究及碳化硅單晶生長(zhǎng)技術(shù)及產(chǎn)業(yè)化進(jìn)行了訪談交流。本期為您分享的是江蘇瑞邦高熱制品有限公司總經(jīng)理兼技術(shù)總監(jiān)韋國(guó)文的專(zhuān)訪。
中國(guó)粉體網(wǎng)：韋總，您好，請(qǐng)您簡(jiǎn)單的介紹一下江蘇瑞邦高熱制品有限公司。
韋總：我們江蘇瑞邦高熱制品有限公司是受蘇州瑞邦新材料有限公司控股的公司，蘇州瑞邦新材料有限公司成立于2007年，主要從事于高技術(shù)多孔陶瓷窯具的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售，這些陶瓷窯具主要應(yīng)用于先進(jìn)陶瓷的燒結(jié)。2009年，我們?cè)邴}城大豐區(qū)被招商引資，成立了江蘇瑞邦高熱制品有限公司，依然以陶瓷窯具為主，到2013年，我們開(kāi)始研發(fā)燒結(jié)設(shè)備。
目前，我們公司有兩個(gè)車(chē)間事業(yè)部。第一個(gè)是陶瓷窯具事業(yè)部，主要是燒陶瓷大件，第二個(gè)事業(yè)部主要是生產(chǎn)氣氛爐，以及燒陶瓷大件的電熱式氣爐。
中國(guó)粉體網(wǎng)：韋總，請(qǐng)您介紹幾款用于先進(jìn)陶瓷行業(yè)比較有特色的設(shè)備。
韋總：我們比較有特色的設(shè)備還是挺多的。在半導(dǎo)體領(lǐng)域，我們目前有兩款設(shè)備是比較有特色的。
第一個(gè)是半導(dǎo)體大件燒成的電熱式氣爐。這款電爐與一般的電爐不同，它是根據(jù)燃?xì)鉅t的燒成環(huán)境研發(fā)出來(lái)的。第一，它有足夠的排膠動(dòng)力，第二，它有足夠的燒成效率。第三，它和燃?xì)鉅t一樣具有足夠的產(chǎn)能。所以這款爐子目前已經(jīng)應(yīng)用于很多陶瓷大件企業(yè)，訂單需求非常旺盛。
第二款服務(wù)于氮化鋁、氮化硅基板的排膠的爐子。之前我國(guó)的氮化物排膠都是采用真空形式，對(duì)排膠的潔凈度不利，也不好控制，經(jīng)常出現(xiàn)開(kāi)裂翹曲問(wèn)題。根據(jù)有機(jī)分子的特性，我們研發(fā)了一款氣氛熱脫水的爐子。它是通過(guò)熱空氣、活性氧分子的前端打入，后端進(jìn)行揮發(fā)，已經(jīng)很成功的應(yīng)用于氮化硅基板的排膠。
中國(guó)粉體網(wǎng)：韋總，您剛剛也提到陶瓷大件開(kāi)裂的問(wèn)題，那造成開(kāi)裂的原因是什么呢？
韋總：這是一個(gè)系統(tǒng)化的問(wèn)題，這個(gè)問(wèn)題也比較專(zhuān)業(yè)。我們?nèi)鸢罡鶕?jù)20年的經(jīng)驗(yàn)做了一些總結(jié)。
第一個(gè)原因當(dāng)然是粉體的因素，粉體本身是沒(méi)有問(wèn)題的，主要是在物理改性以后，對(duì)粉體的可塑性要求比較高，而改性后形成的造粒粉往往表現(xiàn)為空心的，很細(xì)，很硬，這對(duì)下一道工藝的成型造成了很大的困難，比如說(shuō)顆粒硬度大，成型的壓力就需要很大，而壓力大了，泄壓的時(shí)候，它的應(yīng)力釋放就會(huì)有要求，和一般件的應(yīng)力釋放相比，肯定是要慢一些。那么根據(jù)中國(guó)傳統(tǒng)的陶瓷經(jīng)驗(yàn)，一般認(rèn)為等靜壓，壓好以后就可以直接泄壓。實(shí)際上我們通過(guò)很多次的實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)，過(guò)快的泄壓對(duì)產(chǎn)品的應(yīng)力釋放是不一樣的。超大的零件上會(huì)有很多肉眼不可見(jiàn)的裂紋，如果沒(méi)有發(fā)現(xiàn)直接放進(jìn)爐子里頭就會(huì)產(chǎn)生開(kāi)裂問(wèn)題，那很多用戶(hù)就會(huì)覺(jué)得這個(gè)爐子是不是有問(wèn)題，燒成曲線(xiàn)是不是有問(wèn)題？其實(shí)，一臺(tái)好的爐子對(duì)于這種進(jìn)入前產(chǎn)生的一些瑕疵問(wèn)題，是可以緩和的，但也不能絕對(duì)的解決。
爐子只能解決三個(gè)問(wèn)題，一個(gè)胚體進(jìn)入以后，分為三個(gè)步驟：第一個(gè)是針對(duì)有機(jī)分子，如何去裂解它、排除它，確保在排膠的時(shí)候不會(huì)開(kāi)裂。第二個(gè)就是對(duì)陶瓷的預(yù)熱過(guò)程，這個(gè)要在1200℃以前完成。第三個(gè)就是慢速升溫。我們公司做的電熱式氣爐完全是針對(duì)這三個(gè)過(guò)程配置的。比如說(shuō)，最重要的過(guò)程，我們必須要微負(fù)壓排膠，這方便有機(jī)物揮發(fā)。這就等于送你一杯開(kāi)水，它需要蒸發(fā)，那么我如果加一個(gè)力，它會(huì)蒸發(fā)快一些。這個(gè)爐子目前在市場(chǎng)上用的比較廣泛，也比較成功。與燃?xì)鉅t相比，優(yōu)勢(shì)在于它有足夠的效率、足夠的合格率、以及很自由的功能和配置。
中國(guó)粉體網(wǎng)：請(qǐng)問(wèn)韋總，公司的售后服務(wù)是如何開(kāi)展的呢？
韋總：我們的售后服務(wù)其實(shí)是比較全面、人性化的。主要是去客戶(hù)那里，進(jìn)行實(shí)際考察，和他們分析大件為什么會(huì)開(kāi)裂，如何來(lái)解決開(kāi)裂。許多問(wèn)題是在進(jìn)入以前發(fā)生的，比如說(shuō)如何選擇造粒粉，如何判定造粒粉，如何對(duì)一些體積比較大的零件等靜壓成型，如何去改變它的程序獲得一個(gè)完好的胚體，以及進(jìn)到我們的電熱水氣爐里，應(yīng)該如何去排除它的有機(jī)物，如何去燒結(jié)，如何去控溫？
當(dāng)然抱怨的聲音也是有的，作為一家設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)，我們不可能從頭開(kāi)始指導(dǎo)一個(gè)企業(yè)完成整個(gè)陶瓷的生產(chǎn)制成，所以我們對(duì)于客戶(hù)是理解的，尊重的，公司一直強(qiáng)調(diào)不對(duì)抗客戶(hù)、不否定客戶(hù)，盡最大努力做好售后服務(wù)。
中國(guó)粉體網(wǎng)：好的，感謝韋總接受我們的采訪，謝謝！
（中國(guó)粉體網(wǎng)編輯整理/梧桐）
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