中國粉體網(wǎng)訊 半導(dǎo)體材料和設(shè)備是半導(dǎo)體制造工藝的基石，制程的進(jìn)步推動半導(dǎo)體材料價值量增加，需求相應(yīng)進(jìn)一步提升。近年來，受益于下游5G、物聯(lián)網(wǎng)、新能源需求拉動，半導(dǎo)體材料需求不斷攀升，國家政策不斷扶持，國際形勢嚴(yán)峻，推動著國產(chǎn)替代前進(jìn)的腳步，行業(yè)發(fā)展需要更多的高技術(shù)企業(yè)及人才。
蘇州錸鉑機(jī)電科技有限公司（蘇州錸鉑）作為國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)III-V族軟材料減薄拋光工藝解決方案的專業(yè)提供商，始終致力于為客戶提供先進(jìn)、可靠的工藝支持。其解決方案覆蓋了從晶圓臨時粘片取片到晶圓雙面研磨拋光，再到晶圓劃片裂片、LD bar條堆取、超薄易碎晶圓處理等各個環(huán)節(jié)。
精工細(xì)作，研磨拋光新高度
晶圓磨拋工藝是將半導(dǎo)體晶圓的表面磨平和拋光，以獲得高度平整和光滑的表面，為后續(xù)芯片制造工藝奠定基礎(chǔ)。每一片晶圓的磨拋工藝可去除約95%的表面缺陷，高度平整的晶圓表面有助于后續(xù)光刻和刻蝕工藝的順利進(jìn)行。因此，這也要求磨拋設(shè)備具備高精度、高穩(wěn)定性，同時還需要考慮材料的特性和加工效率。
LB061精密磨拋機(jī)為單工作站臺式機(jī)，能夠完成6英寸及以下尺寸樣品的精密研磨減薄及其拋光，加工出來的樣品具有高平整度、高表面光潔度等特點，可應(yīng)用在半導(dǎo)體、光電、光學(xué)等領(lǐng)域。
左：磨拋機(jī)LP061，右：磨拋機(jī)LP061加配通風(fēng)柜
桌面式研磨拋光機(jī)具有緊湊的外形設(shè)計，適合放置在實驗室、研究室或小型生產(chǎn)環(huán)境中，由于小壓力加工，這些機(jī)器適用于對樣品或器件施加輕微壓力的工藝，從而避免因過度壓力而引起的損傷。其優(yōu)勢在于成本低，適用于預(yù)算有限項目，同時出于安全及環(huán)保問題可加配通風(fēng)柜。
LP064精密減薄機(jī)是多工位設(shè)計，是將晶圓厚度減薄的設(shè)備，可以應(yīng)用于硅、磷化銦、砷化鎵等晶圓的平面研磨減薄以及鈮酸鋰、硅光芯片、光纖、激光棒等材料的端面研磨。
磨拋機(jī)LP064
多工位設(shè)計的磨拋機(jī)優(yōu)勢在于可以同時進(jìn)行不同類型的加工，如研磨、拋光、研磨拋光組合等，適應(yīng)多種樣品處理需求，從而提高生產(chǎn)效率，特別適用于批量生產(chǎn)需求。其磨盤直徑500mm，可同時減薄4個4英寸及其以下尺寸晶圓或2個6英寸晶圓；設(shè)備具有定時功能，可設(shè)定工作時間范圍，到點自動停機(jī)。
全面覆蓋，一站式解決方案
除了晶圓研磨拋光，蘇州錸鉑還提供了包括晶圓劃片裂片、LD bar條堆取、超薄易碎晶圓處理、晶圓厚度及膜厚測量、封裝用打線機(jī)、粘片機(jī)等一站式解決方案。
粘片機(jī)的作用是將晶圓上的多個芯片分割成獨立的芯片，每個芯片將成為一個獨立的半導(dǎo)體器件，為后續(xù)的封裝和測試提供了關(guān)鍵的前提，決定了每個芯片的尺寸和形狀，并且提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)量。此外，一些芯片可能具有復(fù)雜的結(jié)構(gòu)和特殊的尺寸要求，粘片機(jī)可以通過適當(dāng)?shù)脑O(shè)置和控制來實現(xiàn)這些要求。蘇州錸鉑WB061真空粘片機(jī)具有150mm及其以下直徑晶圓的固定粘接能力，氣囊式雙腔體設(shè)計，下層抽真空，上層采用壓縮空氣加壓，最大粘接晶圓尺寸6英寸。
WB061真空粘片機(jī)
磨拋配件、耗材
磨拋機(jī)作業(yè)時需要固定和支撐晶圓等，它必須滿足穩(wěn)定、精確定位、保護(hù)表面以及均勻施壓的要求，這就需要專業(yè)夾具來實現(xiàn)上述功能。
各式夾具
拋光盤：調(diào)整拋光盤的旋轉(zhuǎn)速度、壓力和磨料顆粒的特性，可以控制磨削和拋光的程度。
修盤塊：用于保持拋光盤的平整性、清潔度和表面狀態(tài)，以確保拋光過程的精確性和一致性。
料桶、閥門、真空連接
測試規(guī)和擺臂
襯底片是半導(dǎo)體器件的基礎(chǔ)支撐平臺。
創(chuàng)新引領(lǐng)，持續(xù)突破
蘇州錸鉑憑借精湛的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗，確保每一個工藝步驟都能達(dá)到最佳效果，為客戶的產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率提供有力保障。作為高新技術(shù)企業(yè)，蘇州錸鉑在新興能源技術(shù)研發(fā)、半導(dǎo)體器件專用設(shè)備制造等領(lǐng)域擁有較強(qiáng)的研發(fā)實力和市場競爭力，未來發(fā)展前景廣闊。
（中國粉體網(wǎng)編輯整理/空青）
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