中國(guó)粉體網(wǎng)訊 近日，樂(lè)山市馬邊生態(tài)環(huán)境局對(duì)四川馬邊龍?zhí)└＞?a href="http://www.bgmic.com/zc/0513.html" target="_blank" style="color:#0000ff">石英坩堝、拉管及其配套項(xiàng)目環(huán)境影響評(píng)價(jià)文件受理情況進(jìn)行了公示。
四川馬邊龍?zhí)└＞壥③釄�、拉管及其配套�?xiàng)目擬投資1.7億元，占地約38589.65平方米，建設(shè)坩堝車間、拉管車間、擴(kuò)管機(jī)加工車間、制氫車間，購(gòu)置安裝熔制爐、電烘干機(jī)、切割倒棱機(jī)、清洗設(shè)備等生產(chǎn)及檢驗(yàn)檢測(cè)設(shè)備。項(xiàng)目竣工投產(chǎn)后年產(chǎn)5萬(wàn)只石英坩堝，1萬(wàn)只石英管。
項(xiàng)目產(chǎn)品規(guī)模
項(xiàng)目原料為40-100目高純石英砂，主要生產(chǎn)太陽(yáng)能和半導(dǎo)體直拉單晶硅用石英坩堝及石英管生產(chǎn)線，設(shè)置坩堝生產(chǎn)車間，以高純石英砂為原料，經(jīng)熔制爐熔制坩堝毛坯、浮砂清理、切割倒棱、酸洗、清洗、烘干、裝箱入庫(kù)等工序制成。
石英坩堝生產(chǎn)工藝流程
石英坩堝生產(chǎn)工藝流程
投料：將高純石英砂人工投放至可旋轉(zhuǎn)角度的碳鋼模具內(nèi)，利用離心力和成型棒手工成型，將載有碳鋼模具的小車（坩堝熔制爐配套部件）自動(dòng)移動(dòng)至隔音密閉的熔制爐爐體內(nèi)的石墨電極棒處，投料過(guò)程耗時(shí)約10min。
直壁上料
電弧熔制：將模具導(dǎo)入熔制爐內(nèi)，爐內(nèi)抽真空，通過(guò)石墨電極釋放高溫電弧使石英砂快速熔化，熔制溫度約1300℃，熔制18min，離心成型后關(guān)閉電弧。
熔制爐體
浮砂清理：冷卻出爐后，將附著在毛坯坩堝外表面未熔的浮砂用專用工具除去。
切割倒棱：使用全自動(dòng)切割倒棱機(jī)按照尺寸要求對(duì)清理浮砂后的坩堝采用輔助濕式加工切割、倒棱。
檢驗(yàn)：自動(dòng)檢測(cè)坩堝的高度、厚度、外徑尺寸、目測(cè)氣泡、雜點(diǎn)。此過(guò)程將產(chǎn)生不合格坩堝。
純水清洗：對(duì)坩堝用純水進(jìn)行預(yù)清洗，除去坩堝表面雜質(zhì)。
酸洗：將50%氫氟酸與純水配置成8%的氫氟酸，沖洗坩堝內(nèi)外表面，去除坩堝內(nèi)外表面被包裹的不容雜質(zhì)。
純水清洗：酸洗后的坩堝表面帶有少量氫氟酸溶液，用純水高壓清洗坩堝內(nèi)外表面，去除殘留在坩堝內(nèi)外表面的殘余酸液及雜質(zhì)，達(dá)到較高潔凈度。
靜置烘干：清洗后的坩堝靜置進(jìn)行控水，隨后進(jìn)入7m長(zhǎng)的電烘箱烘干，烘干溫度為400~500℃，烘干時(shí)間約5min。
包裝入庫(kù)：烘干后的成品坩堝待自然冷卻后進(jìn)行包裝入庫(kù)。
石英管生產(chǎn)工藝流程
拉管生產(chǎn)工藝流程
投料：采用自動(dòng)上料投料，由機(jī)械手將桶裝的高純石英砂倒入上料斗，上料斗加油蓋，石英砂通過(guò)進(jìn)料口進(jìn)入坩堝中。
熔化：熔化采用的是連熔爐，主要用電，輔以氫氣加熱，最高溫度2200℃，為防止氧氣進(jìn)入連熔爐，使用氮?dú)庾鳛楸Ｗo(hù)氣。
拉管：利用拉管機(jī)將熔融狀態(tài)下的原料拉成管或棒。
切割：利用激光自動(dòng)切割系統(tǒng)，當(dāng)石英管到達(dá)一定長(zhǎng)度時(shí)，采用激光切割的方式進(jìn)行切割。
酸洗：將50%氫氟酸與純水配置成8%的氫氟酸，沖洗石英管內(nèi)外表面，去除不容雜質(zhì)，項(xiàng)目石英管酸洗在密閉的設(shè)備內(nèi)進(jìn)行洗滌。
純水清洗：酸洗后的坩堝表面帶有少量氫氟酸溶液，用純水高壓清洗石英管內(nèi)外表面，去除殘留在坩堝內(nèi)外表面的殘余酸液及雜質(zhì)，達(dá)到較高潔凈度。
靜置烘干：清洗后的石英管靜置進(jìn)行控水，隨后進(jìn)入7m長(zhǎng)的電烘箱烘干，烘干溫度為400~500℃，烘干時(shí)間約3min。
檢測(cè)：通過(guò)人工目測(cè)及儀器檢測(cè)，挑選出不合格的石英管。
參考來(lái)源：馬邊彝族自治縣人民政府、馬邊生態(tài)環(huán)境局
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