中國(guó)粉體網(wǎng)訊 近年來(lái),我國(guó)石英坩堝行業(yè)快速發(fā)展。
石英坩堝是由高純石英砂制成的容器,具有潔凈、同質(zhì)、耐高溫等性能,目前廣泛應(yīng)用于太陽(yáng)能和半導(dǎo)體領(lǐng)域提煉晶體硅的生產(chǎn)工藝中。
這篇文章匯總了按照不同分類(lèi)方法進(jìn)行分類(lèi)的石英坩堝。
♦按應(yīng)用,石英坩堝可分為:半導(dǎo)體(電子級(jí))石英坩堝、光伏(太陽(yáng)能級(jí))石英坩堝
半導(dǎo)體石英坩堝主要用于生長(zhǎng)半導(dǎo)體單晶硅,用于制造集成電路、微電子器件等;光伏石英坩堝主要用于生長(zhǎng)光伏單晶硅,用于制造太陽(yáng)能電池、光伏組件等。
半導(dǎo)體石英坩堝對(duì)純度要求更高,一般要求SiO2純度大于99.998%,雜質(zhì)含量低于10ppm,氣液包裹體含量低于100ppm;光伏石英坩堝對(duì)純度要求相對(duì)較低,一般要求SiO2純度大于99.95%,雜質(zhì)含量低于100ppm,氣液包裹體含量低于500ppm。
半導(dǎo)體石英坩堝一般采用合成石英作為內(nèi)層,天然石英作為外層,內(nèi)外層之間有一層過(guò)渡層,以提高坩堝的強(qiáng)度和穩(wěn)定性;光伏石英坩堝一般采用天然石英作為內(nèi)外層,內(nèi)層為氣泡空乏層,外層為氣泡復(fù)合層,以提高坩堝的耐溫性和保溫效果。
半導(dǎo)體石英坩堝一般較小,直徑在8-12寸之間,高度在20-30厘米之間;光伏石英坩堝一般較大,直徑在24-40寸之間,高度在40-60厘米之間。
♦按內(nèi)層石英的種類(lèi),石英坩堝可分為:合成石英坩堝(SQC)、天然石英坩堝(NQC)
石英坩堝的原材料大體分為兩種:一種是以天然石英為原料的石英砂,一種是高純合成原料。
合成坩堝內(nèi)表面純度更高,適用于高級(jí)別硅棒的拉制;
內(nèi)表面結(jié)晶化的天然石英坩堝,適應(yīng)多次加料工藝,長(zhǎng)時(shí)間使用。
♦按形狀,石英坩堝可分為:圓形石英坩堝、方形石英坩堝
方形石英坩堝用于多晶硅錠鑄造環(huán)節(jié);
圓形石英坩堝則用在單晶硅棒拉制環(huán)節(jié)。
♦根據(jù)成型工藝不同,石英坩堝大致可分為:注塑成型石英坩堝、擠壓成型石英坩堝
石英坩堝的成型方法主要有擠壓成型和注塑成型兩種。擠壓成型是將石英粉末通過(guò)擠壓機(jī)擠壓成型,形成坩堝的外形和尺寸;注塑成型則是將石英粉末與有機(jī)粘結(jié)劑混合,注入模具中成型。
♦按外觀分類(lèi),石英坩堝可分為:透明石英坩堝、不透明石英坩堝
最早期的石英坩堝是全部透明的,這種透明的構(gòu)造容易導(dǎo)致不均勻的熱傳輸條件,增加晶棒生長(zhǎng)的困難度,所以這種坩堝被淘汰使用。
目前,市場(chǎng)主流的是半透明石英坩堝。半透明石英坩堝具有高純度、耐溫性強(qiáng)、尺寸大精度高、保溫性好、節(jié)約能源、質(zhì)量穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn)。
♦按規(guī)格(坩堝直徑)分類(lèi),石英坩堝可分為:D≤305mm,D>457mm,305mm<D≤457mm
如果您還有不同的石英坩堝分類(lèi)方法,歡迎評(píng)論區(qū)留言~
參考來(lái)源:智研咨詢(xún)、百度文庫(kù)、河南利特耐火材料有限公司、華經(jīng)情報(bào)網(wǎng)等
(中國(guó)粉體網(wǎng)編輯整理/星耀)
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