中國粉體網(wǎng)訊 石英坩堝是拉制大直徑單晶硅棒的消耗性器皿,對(duì)拉晶質(zhì)量有著重要影響。主要應(yīng)用于光伏和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
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按應(yīng)用,石英坩堝可分為兩大類:半導(dǎo)體(電子級(jí))石英坩堝、光伏(太陽能級(jí))石英坩堝。
本文主要介紹半導(dǎo)體石英坩堝。
半導(dǎo)體石英坩堝特點(diǎn)
石英坩堝為半透明狀,可分為外層(不透明層)、中內(nèi)層(真空透明層)。外層(不透明層)是高密度區(qū)域,內(nèi)部含有大量氣泡,被稱為氣泡復(fù)合層,其受熱均勻,保溫效果好;中內(nèi)層是3-5mm的透明層,均勻致密、表面光滑,可以增強(qiáng)坩堝的強(qiáng)度(抗形變),降低內(nèi)表面的溫度(防失透),被稱為氣泡空乏層。
半導(dǎo)體石英坩堝一般采用合成石英作為內(nèi)層,天然石英作為外層,內(nèi)外層之間有一層過渡層,以提高坩堝的強(qiáng)度和穩(wěn)定性。
半導(dǎo)體石英坩堝對(duì)純度要求更高,一般要求SiO2純度大于99.998%,雜質(zhì)含量低于10ppm,氣液包裹體含量低于100ppm。
半導(dǎo)體級(jí)石英坩堝具有純度高、質(zhì)量穩(wěn)定、耐溫性強(qiáng)、節(jié)約能源等優(yōu)點(diǎn),主要用于生長半導(dǎo)體單晶硅,用于制造集成電路、微電子器件等,是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展中重要器具。
石英坩堝行業(yè)受其下游應(yīng)用領(lǐng)域的發(fā)展影響較大。隨著半導(dǎo)體制程的不斷縮小,芯片制造工藝對(duì)半導(dǎo)體硅片缺陷容忍度不斷降低,尤其是在邏輯、存儲(chǔ)等高端 IC 芯片的制備過程中,對(duì)于半導(dǎo)體坩堝的潔凈度及均一性提出更為嚴(yán)苛的要求(高純半導(dǎo)體合成石英坩堝內(nèi)層要求 8N 以上的純度)。
半導(dǎo)體石英坩堝行業(yè)現(xiàn)狀
半導(dǎo)體石英坩堝行業(yè)壁壘較高,行業(yè)集中度高。關(guān)于半導(dǎo)體石英坩堝產(chǎn)品,目前全球市場被外資企業(yè)主導(dǎo),全球半導(dǎo)體石英坩堝前三大生產(chǎn)廠商美國 Momentive(其收購了 CoorsTek 的石英坩堝業(yè)務(wù))、日本 SUMCO JSQ、日本 Shin-Etsu Quartz 占據(jù)了市場 85%的份額,其中 Shin-Etsu Quartz、SUMCO JSQ 分別所屬的集團(tuán) Shin-Etsu、SUMCO 又是排名全球前二的半導(dǎo)體硅片供應(yīng)商,與國內(nèi)半導(dǎo)體硅片產(chǎn)業(yè)有直接的競爭關(guān)系,如競爭關(guān)系加劇,其可能會(huì)對(duì)國內(nèi)半導(dǎo)體硅片產(chǎn)業(yè)實(shí)施半導(dǎo)體石英坩堝的限制供應(yīng),對(duì)于國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展極其不利。
從需求端來看,2022年中國境內(nèi)半導(dǎo)體石英坩堝需求量占全球需求總量的15.93%。隨著中國半導(dǎo)體硅片產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展,中國境內(nèi)半導(dǎo)體石英坩堝市場需求也將快速上升,據(jù)中金企信預(yù)測,2027年中國境內(nèi)半導(dǎo)體坩堝市場規(guī)模有望從2022年的2.9億元增長至11億元,年復(fù)合增長率30.6%。
在半導(dǎo)體石英坩堝領(lǐng)域,國外半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)逐漸轉(zhuǎn)移至國內(nèi),隨著新能源車、智能電網(wǎng)、自動(dòng)駕駛、人工智能的發(fā)展,8 英寸及 12 英寸半導(dǎo)體硅片出貨量持續(xù)增長,我國半導(dǎo)體硅片供應(yīng)商開始加碼大硅片產(chǎn)能布局,對(duì)半導(dǎo)體石英坩堝的需求持續(xù)增加,預(yù)計(jì)至 2027 年,全球半導(dǎo)體石英坩堝市場規(guī)模將擴(kuò)大至 29.5 億人民幣,期間年復(fù)合增長率為 10.1%。目前,國內(nèi)個(gè)別企業(yè)開展了 32 英寸半導(dǎo)體級(jí)石英坩堝的研發(fā)工作并具備量產(chǎn)能力。
半導(dǎo)體石英坩堝發(fā)展態(tài)勢
石英坩堝是半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)中重要的輔料,隨著國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,半導(dǎo)體級(jí)石英坩堝市場需求持續(xù)攀升。
①隨著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向中國轉(zhuǎn)移,國產(chǎn)半導(dǎo)體石英坩堝市場占有率有望提升。
在國家政策的扶持下,我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的建設(shè)力度持續(xù)加強(qiáng),進(jìn)而有力帶動(dòng)產(chǎn)業(yè)鏈上游石英坩堝需求的增長。未來隨著半導(dǎo)體領(lǐng)域國產(chǎn)替代進(jìn)程的推進(jìn),國產(chǎn)石英坩堝在半導(dǎo)體領(lǐng)域的市場占有率將得到進(jìn)一步提升。
②隨下游半導(dǎo)體硅片行業(yè)尺寸日趨大型化,大尺寸高純度半導(dǎo)體石英坩堝將占據(jù)主流
目前,國際半導(dǎo)體硅片出貨以12英寸硅片為主,我國半導(dǎo)體硅片供應(yīng)商也開始加碼大硅片產(chǎn)能布局,近期國內(nèi)主要半導(dǎo)體硅片企業(yè)有將大硅片(12英寸)產(chǎn)能翻倍的計(jì)劃。
下游半導(dǎo)體硅片行業(yè)尺寸日趨大型化加大了對(duì)大尺寸高純度半導(dǎo)體石英坩堝的需求?紤]國際貿(mào)易爭端帶來的技術(shù)封鎖風(fēng)險(xiǎn),我國半導(dǎo)體硅片企業(yè)對(duì)國產(chǎn)半導(dǎo)體石英坩堝有更加緊迫性的需求。
參考來源:
中金企信國際咨詢《2024年全球與中國半導(dǎo)體坩堝行業(yè)主要企業(yè)占有率及排名分析預(yù)測》
思瀚研究院《半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)及半導(dǎo)體石英坩堝行業(yè)發(fā)展情況》
歐晶科技官網(wǎng)、年報(bào)
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(中國粉體網(wǎng)編輯整理/星耀)
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