企業(yè)介紹
廈門韞茂科技有限公司由高端半導(dǎo)體裝備團(tuán)隊(duì)于2018年在廈門集美創(chuàng)立，是一家以納米級(jí)薄膜沉積工藝技術(shù)為核心的多領(lǐng)域全棧式薄膜沉積方案供應(yīng)商，為客戶提供全方位的技術(shù)解決方案以及最先進(jìn)的納米材料薄膜沉積裝備，針對(duì)先進(jìn)制造國(guó)產(chǎn)化的痛點(diǎn)，開發(fā)自主設(shè)備，實(shí)現(xiàn)多個(gè)國(guó)內(nèi)裝備產(chǎn)品首創(chuàng)設(shè)備，填補(bǔ)部分國(guó)家高端裝備的空缺。2021年入選國(guó)家級(jí)高新技術(shù)企業(yè)，2022年入選廈門專精特新技術(shù)企業(yè)，并且獲批福建省首臺(tái)套高端裝備。
部分產(chǎn)品介紹
該系統(tǒng)具有動(dòng)態(tài)粉末流化機(jī)構(gòu)、全自動(dòng)溫度控制、ALD前驅(qū)體源鋼瓶、自動(dòng)溫度控制閥、工業(yè)級(jí)安全控制，以及現(xiàn)場(chǎng)RGA、QCM、臭氧發(fā)生器、手套箱等設(shè)計(jì)選項(xiàng)。是先進(jìn)能源材料、催化劑材料、新型納米材料研究與應(yīng)用的研發(fā)工具。
MPCVD
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：
•能夠?qū)崿F(xiàn)全自動(dòng)、自動(dòng)化生產(chǎn)；
•創(chuàng)新的設(shè)計(jì)帶來(lái)產(chǎn)品良率大幅提升；
•創(chuàng)新的高均勻性、偏壓設(shè)計(jì)能夠?qū)崿F(xiàn)更高的金剛石薄膜質(zhì)量；
•工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)安全互鎖、報(bào)警、EMO。
QBT-J 全自動(dòng)四腔超高真空雙傾角鍍膜系統(tǒng)
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：
•熱壁感應(yīng)加熱系統(tǒng)，溫度場(chǎng)均勻；
•專利的多區(qū)進(jìn)氣系統(tǒng)，利于工藝參數(shù)調(diào)控；
•高溫加載/卸載晶圓，升/降溫速率快，提高生產(chǎn)效率；
•高生長(zhǎng)速率，提高設(shè)備產(chǎn)能；
•優(yōu)異的產(chǎn)品指標(biāo)，提高器件性能；
•設(shè)備占地面積小。
QBT-P 雙腔室超高真空磁控濺射系統(tǒng)
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