中國(guó)粉體網(wǎng) 10月29日，湖北政務(wù)服務(wù)網(wǎng)公布湖北菲利華石英玻璃股份有限公司超低膨脹石英玻璃研發(fā)及生產(chǎn)項(xiàng)目備案申報(bào)。
湖北菲利華石英玻璃股份有限公司超低膨脹石英玻璃研發(fā)及生產(chǎn)項(xiàng)目位于湖北省荊州經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)。據(jù)備案信息顯示，該項(xiàng)目利用現(xiàn)有廠房和設(shè)備，對(duì)爐膛結(jié)構(gòu)、升降設(shè)備控制系統(tǒng)、尾氣系統(tǒng)等進(jìn)行智能化升級(jí)改造；新增氣柜、料柜、蒸發(fā)器、純化設(shè)備及相關(guān)檢測(cè)裝置，面向極紫外（EUV）光刻機(jī)對(duì)石英玻璃材料的需求進(jìn)行超低膨脹石英玻璃的研制，建設(shè)1條中試生產(chǎn)線。
據(jù)中國(guó)粉體網(wǎng)了解，相較于其他低膨脹石英玻璃，SiO2-TiO2石英玻璃的熱膨脹系數(shù)更低，在一定溫度范圍內(nèi)甚至可以做到零膨脹或負(fù)膨脹，因此摻鈦石英玻璃又被稱(chēng)為超低膨脹石英玻璃。低膨脹石英玻璃的制備方法主要有化學(xué)氣相沉淀法、間接合成法和溶膠-凝膠法等，具有極低的熱膨脹系數(shù)，是半導(dǎo)體光刻設(shè)備用光學(xué)元件、天文望遠(yuǎn)鏡反射鏡、原子鐘腔體等高新技術(shù)領(lǐng)域的關(guān)鍵材料。
今年3月，國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局公布了名為“一種低膨脹系數(shù)石英玻璃錠的生產(chǎn)方法及生產(chǎn)裝置”的專(zhuān)利，申請(qǐng)人為湖北菲利華石英玻璃股份有限公司。
該發(fā)明涉及一種低膨脹系數(shù)石英玻璃錠的生產(chǎn)方法及生產(chǎn)裝置，屬低膨脹系數(shù)石英玻璃生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域。該發(fā)明以濃鹽酸為溶劑、以SiCl4、TiCl4為溶質(zhì)制備成混合原料溶液；由于潛在的溶劑化作用，使硅原子與摻雜原子以離子狀態(tài)均勻分散于混合原料溶液內(nèi)。由此解決了現(xiàn)有制備工藝難以精確控制鈦含量，并在生產(chǎn)過(guò)程中不能保持其一致性所導(dǎo)致的石英塊中摻雜元素分布上的波動(dòng)，加劇石英材料性能不穩(wěn)定性的問(wèn)題。該發(fā)明其摻雜料波動(dòng)范圍可縮小67%；熱膨脹系數(shù)波動(dòng)范圍減小31%；對(duì)制備低膨脹系數(shù)石英玻璃錠具有積極的意義。
湖北菲利華石英玻璃股份有限公司是我國(guó)石英玻璃龍頭企業(yè)，公司主要從事高性能石英玻璃、石英纖維及復(fù)合材料的研發(fā)生產(chǎn)，主要服務(wù)于半導(dǎo)體、光通訊、光伏太陽(yáng)能、高端光學(xué)及航空航天等高新技術(shù)領(lǐng)域。據(jù)菲利華2024年半年報(bào)顯示，公司開(kāi)發(fā)出的超低膨脹系數(shù)石英玻璃，實(shí)現(xiàn)了零膨點(diǎn)溫度區(qū)域可控，為原子鐘腔體、空間探測(cè)、極紫外光刻光學(xué)系統(tǒng)提供了材料支撐。
參考來(lái)源：
[1]張寒等.超低膨脹合成石英玻璃關(guān)鍵制造工藝研究
[2]湖北政務(wù)服務(wù)網(wǎng)
[3]菲利華官網(wǎng)
（中國(guó)粉體網(wǎng)編輯整理/九思）
注：圖片非商業(yè)用途，存在侵權(quán)告知?jiǎng)h除！
