中國粉體網訊 近日，美國商務部宣布了一項計劃，該計劃將資助美國特種玻璃巨頭康寧公司提高芯片制造過程中使用的玻璃產品的產量。
根據TomsHardware報道，康寧公司與英特爾、臺積電（TSMC）和三星等全球領先的晶圓代工廠一樣，將從美國的《芯片和科學法案》中獲得財政補貼。公告顯示，康寧與美國商務部簽署了初步協議，根據該法案，康寧將獲得大約3200萬美元的撥款支持。
康寧公司將把這筆資金將用于擴大其位于紐約州坎頓的制造工廠，以增加高純度熔融石英（HPFS）和Extreme ULE玻璃等特殊材料的產量。該項目還將使康寧公司在紐約坎頓的工廠"擴展一種新的生產工藝"，預計將創(chuàng)造130個新的生產崗位和超過175個建筑崗位。
據悉，康寧公司是全球材料科學的領導創(chuàng)新者之一，過去的170多年來一直致力于改變生活的突破創(chuàng)新�？祵帒{借在玻璃科技、陶瓷科技和光學物理領域的專業(yè)知識，以及資深的生產和制程能力不斷開發(fā)出開創(chuàng)新行業(yè)并且改善人們生活的產品�？祵幍臉I(yè)務涉及光通信、移動消費電子、顯示科技、汽車應用、太陽能、半導體和生命科學等領域。
來源：康寧公司
康寧是半導體行業(yè)光學材料和光學器件的全球領先供應商�？祵幧a高質量材料，如高純度熔融石英（HPFS®）、超低膨脹玻璃（ULE®）和氟化物晶體，這些材料在最惡劣的激光和輻射暴露水平下經過優(yōu)化，具有透射率和耐用性，是半導體光刻工藝的理想選擇。
康寧在紐約州的專家生產康寧® HPFS® 熔融石英
來源：康寧公司
高純度熔融石英
康寧的熔融石英有多種不同等級可供選擇，以支持各種產品應用，其具有極低的折射率變化，可實現最先進的均勻性值、最低的雙折射值、大尺寸能力、從深紫外到紅外區(qū)域的出色透射率以及超低的熱膨脹系數。
在半導體蝕刻過程會刻掉不必要的材料，以確保只留下壓印的圖案。制造商使用由康寧® HPFS® 熔融石英制成的蝕刻環(huán)。這種玻璃基板的極高純度有助于最大限度地減少潛在缺陷。
低膨脹石英玻璃
低膨脹石英玻璃是指摻有低膨脹氧化物的石英玻璃，其熱膨脹系數比一般的石英玻璃低一個或兩個數量級。超低膨脹石英玻璃具有極低的熱膨脹系數，可用作原子鐘腔體、大型望遠鏡胚體的材料、雷達、彩色電視用的延遲線玻璃、宇宙飛行器窺窗、極紫外光刻機掩膜版、反射鏡等，為半導體、國防、航空航天等領域的發(fā)展提供了材料基礎和技術保障。
來源：康寧公司
康寧公司的超低膨脹玻璃（ULE）和極低膨脹石英玻璃（Extreme ULE）材料的主要優(yōu)勢在于其極低的熱膨脹系數，這確保了它們在嚴苛的極紫外（EUV）環(huán)境下持最大的一致性，并具有出色的均勻性，以減少光掩模的“波紋”，以最大限度地降低電路可變性（即降低性能和功率可變性）。由于EUV光刻是一項需要極高精度和穩(wěn)定性的復雜工藝，新玻璃能夠承受最佳強度的極紫外光，從而有效提升芯片的設計和制造能力。
康寧的Extreme ULE玻璃在光掩模和光刻鏡中的應用將是一項重大突破，憑借極高的熱穩(wěn)定性和接近零的膨脹特性，將為半導體制造的高標準提供了關鍵支持，且直接影響到未來芯片的生產效率和成本結構。
總之，此次康寧公司生產的高純度熔融石英和Extreme ULE玻璃等特殊材料對于高端芯片制造至關重要，因為它們是生產光掩模的核心原料，而光掩模在芯片制造中扮演著至關重要的角色。通過提高這些材料的生產量，康寧公司將加強其在全球半導體材料供應鏈中的地位，并促進美國芯片制造業(yè)的增長。
參考來源：
cnBeta、超能網、國際電子商情綜合報道、IT之家
王婷等.低膨脹石英玻璃的制備技術與發(fā)展趨勢
（中國粉體網編輯整理/初末）
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