中國(guó)粉體網(wǎng)訊  據(jù)金融界消息，近日，有投資者就化學(xué)機(jī)械拋光工藝相關(guān)問(wèn)題向華海清科提問(wèn)，公司表示，目前公司的CMP產(chǎn)品在各工藝類別方面均實(shí)現(xiàn)了批量應(yīng)用，且覆蓋了國(guó)內(nèi)絕大部分客戶端。 

化學(xué)機(jī)械拋光（Chemical Mechanical Polishing，CMP）技術(shù)被譽(yù)為是當(dāng)今時(shí)代能實(shí)現(xiàn)集成電路（IC）制造中晶圓表面全局平坦化的目前唯一技術(shù)，化學(xué)機(jī)械拋光的效果直接影響到芯片最終的質(zhì)量和成品率。

CMP工藝 來(lái)源：何潮等，半導(dǎo)體材料CMP過(guò)程中磨料的研究進(jìn)展

化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備系依托CMP技術(shù)的化學(xué)-機(jī)械動(dòng)態(tài)耦合作用原理，通過(guò)化學(xué)腐蝕與機(jī)械研磨的協(xié)同配合作用，實(shí)現(xiàn)晶圓表面多余材料的高效去除與全局納米級(jí)平坦化——全局平整落差5nm以內(nèi)的超高平整度；其是一種集摩擦學(xué)、表/界面力學(xué)、分子動(dòng)力學(xué)、精密制造、化學(xué)/化工、智能控制等多領(lǐng)城最先進(jìn)技術(shù)于一體的設(shè)備，是集成電路制造設(shè)備中較為復(fù)雜和研制難度較大的專用設(shè)備之一。根據(jù)應(yīng)用端需求，CMP設(shè)備主要分為8英寸CMP設(shè)備、12英寸CMP設(shè)備和6/8英寸兼容CMP設(shè)備。

華海清科股份有限公司是一家擁有核心自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高端半導(dǎo)體裝備制造商，其前身是2000年雒建斌院士、路新春教授帶領(lǐng)建立的研究團(tuán)隊(duì)，2012年，雒建斌院士帶領(lǐng)此研究團(tuán)隊(duì)，成功研制出具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的國(guó)內(nèi)首臺(tái)12in干進(jìn)干出式CMP設(shè)備，2013年3月，清華控股聯(lián)合天津市投資設(shè)立華海清科，推動(dòng)該項(xiàng)科技成果的產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程。2014年，華海清科研制出國(guó)內(nèi)首臺(tái)12in干進(jìn)干出CMP商業(yè)機(jī)型-Universal-300。2015年該機(jī)臺(tái)進(jìn)入中芯國(guó)際北京工廠，2016年通過(guò)中芯國(guó)際考核并實(shí)現(xiàn)銷(xiāo)售。

來(lái)源：華海清科官網(wǎng)

Universal-300T  來(lái)源：華海清科官網(wǎng)

華海清科的產(chǎn)品填補(bǔ)了我國(guó)集成電路制造領(lǐng)域CMP設(shè)備技術(shù)的空白，打破了國(guó)外壟斷。截至2019年4月，該機(jī)臺(tái)已累計(jì)加工60000余片硅片。2017年2月，華海清科第二臺(tái)CMP工藝設(shè)備進(jìn)入中芯國(guó)際北京工廠，僅用78天的時(shí)間就完成了裝機(jī)、調(diào)試，并生產(chǎn)了過(guò)百片晶圓，創(chuàng)造了首臺(tái)國(guó)產(chǎn)核心工藝設(shè)備在集成電路大生產(chǎn)線上線的最高效率，榮獲了中芯國(guó)際授予的“突出成就獎(jiǎng)”。2018年1月18日，繼在中芯國(guó)際順利完成IMD／ILD／STI工藝產(chǎn)品大批量生產(chǎn)之后，華海清科的Cu＆Si CMP設(shè)備進(jìn)入上海華力，這是國(guó)產(chǎn)CMP機(jī)臺(tái)第一次進(jìn)入上海華力，也標(biāo)志著國(guó)產(chǎn)首臺(tái)12in銅制程工藝CMP設(shè)備正式進(jìn)入集成電路大生產(chǎn)線。

來(lái)源：華海清科官網(wǎng)

公司依靠國(guó)際化的經(jīng)營(yíng)理念和人才團(tuán)隊(duì)、先進(jìn)的工藝試驗(yàn)條件，致力于為半導(dǎo)體領(lǐng)域的企業(yè)提供先進(jìn)的裝備及下藝的集成解決方案，遵循“科技服務(wù)社會(huì)”的公司宗旨，持續(xù)以優(yōu)良的品質(zhì)和卓越的服務(wù)贏得國(guó)內(nèi)外用戶的信賴，逐步發(fā)展成為國(guó)際知名的集成電路高端裝備及技術(shù)服務(wù)供應(yīng)商。目前公司的CMP產(chǎn)品在各工藝類別方面均實(shí)現(xiàn)了批量應(yīng)用，且覆蓋了國(guó)內(nèi)絕大部分客戶端。

Universal-300系列 來(lái)源：華海清科官網(wǎng)

參考來(lái)源：

[1] 何潮等，半導(dǎo)體材料CMP過(guò)程中磨料的研究進(jìn)展

[2] 燕禾等，化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)研究現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢(shì)

[3] 智研資訊、金融界、Semi Dance

（中國(guó)粉體網(wǎng)編輯整理/山林）

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